ES614 ESD空氣式靜電放電控制系統描述
空氣式靜電放電的測試結果經常很不穩定，原因是操作員難以長時間舉握靜電槍，并連續對同一測試點放電，這導致了空氣式放電測試的波形很不一致。IEC和ISO的標準中并沒有規范空氣式靜電放電波形參數。空氣式放電波形與許多因素有關，例如，靜電放電發生器的物理結構，靜電放電槍的放電頭形狀，以及接近速度。這些因素都能改變空氣式放電時的火花弧長，以及ESD發生器擊中DUT的位置。
該產品是一套數控線性導軌系統，用以控制ESD模擬器在空氣式放電測試和校準時的接近速度和移動路徑。本設備可大大提高空氣式放電測試在移動速度和移動路徑方面的一致性。設備還集成了高精度環境傳感器，包括溫度，相對濕度和壓強傳感器，用于記錄ESD測試時的相對環境參數。
特點：
1）數控的ESD空氣放電接近速度
2）精準的集成式濕度，溫度，壓強傳感器
3）基于LabVIEW的控制和測試報告軟件
4）彈簧式空氣放電頭
5）可根據用戶需求配合不同ESD模擬器使用
應用
靜電放電發生器空氣式放電接近速度控制
帶遠程控制的自動化靜電放電發生器空氣式放電
靜電放電發生器空氣式放電波形校準
ES614 ESD空氣式靜電放電控制系統主要參數
| 參數 | 描述 |
| 可載 ESD放電槍最大重量 | 1.5 kg |
| Max移動距離 | 500 mm |
| 可控移動速度 | 5 – 500 mm/s (± 5%) |
| 移動精度 | 每步0.037 mm |
| 電腦控制接口 | USB |
| 前面板控制 | 速度控制旋鈕，移動開始動作控制按鈕 |
| 控制器尺寸 | 36 X 34 X 16 cm |
| 控制器重量 | 約 5 kg (11 lb) |
| 集成式溫度傳感器 | |
| 測量范圍 | -0 至 65 °C |
| 精度 | ± 1 °C |
| 均方根噪聲 | 0.005 °C |
| 集成式濕度傳感器 | |
| 響應時間 (τ63%) | 1 s |
| 測量范圍 | 從 0 至 100 % |
| 測量精度 | ± 3 % 相對濕度 |
| 測量遲滯 | < 2 % 相對濕度 |
| 集成式壓強傳感器 | |
| 測量范圍 | 300 至 1100 hPa |
| 均方根噪聲 | 0.2 Pa (等同于 1.7 cm) |
| 測量誤差 | ± 0.25 % (等同于400 m高度處1 m的改變) |
| 溫度系數 | ±11.5 Pa/K (等同于 1°C 時 ±12.6 cm 的溫度改變) |
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