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NS200 軟膜材料臺階高度蝕刻速率測定儀

參考價訂貨量

600000

≥1臺

具體成交價以合同協議為準
  • 型號NS200
  • 品牌中圖儀器
  • 所在地深圳市
  • 更新時間2025-03-10
  • 廠商性質生產廠家
  • 入駐年限5
  • 實名認證已認證
  • 產品數量1936
  • 人氣值236351
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深圳市中圖儀器股份有限公司成立于2005年,致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設備的研發、生產和銷售。


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中圖儀器堅持以技術創新為發展基礎,擁有一支集光、機、電、信息技術于一體的技術團隊,歷經20年的技術積累和發展實踐,研發出了基礎計量儀器、常規尺寸光學測量儀器、微觀尺寸光學測量儀器、大尺寸光學測量儀器、常規尺寸接觸式測量儀器、微觀尺寸接觸式測量儀器、行業應用檢測設備等全尺寸鏈精密儀器及設備,能為客戶提供從納米到百米的精密測量解決方案。


中圖儀器的銷售和服務網點遍及全國三十多個省、市、自治區,產品遠銷歐、美、東南亞等海外市場,堅持為客戶提供高質量產品和服務。


中圖儀器還將繼續專注于精密測量檢測技術的發展,自強不息、知難而上、勇于創新,為中國制造技術的快速發展貢獻力量!

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產地國產 加工定制
NS系列軟膜材料臺階高度蝕刻速率測定儀利用光學干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優點。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。
軟膜材料臺階高度蝕刻速率測定儀 產品詳情

中圖儀器NS系列軟膜材料臺階高度蝕刻速率測定儀利用光學干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優點。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。

軟膜材料臺階高度蝕刻速率測定儀

如針對測量ITO導電薄膜的應用場景,NS200臺階儀提供如下便捷功能:

1)結合了360°旋轉臺的全電動載物臺,能夠快速定位到測量標志位;

2)對于批量樣件,提供自定義多區域測量功能,實現一鍵多點位測量;

3)提供SPC統計分析功能,直觀分析測量數值變化趨勢;


NS系列軟膜材料臺階高度蝕刻速率測定儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術,使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。應用場景適應性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應用于半導體、太陽能光伏、光學加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業領域內的工業企業與高校院所等科研單位,其對表面微觀形貌參數的準確表征,對于相關材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。

軟膜材料臺階高度蝕刻速率測定儀

產品功能

1.參數測量功能

1)臺階高度:能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度,可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

2)粗糙度與波紋度:能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線,可獲取粗糙度與波紋度相關的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等數十項參數。

3)應力測量:可測量多種材料的表面應力。

2.測量模式與分析功能

1)單區域測量模式:完成Focus后根據影像導航圖設置掃描起點和掃描長度,即可開始測量。

2)多區域測量模式:完成Focus后,根據影像導航圖完成單區域掃描路徑設置,可根據橫向和縱向距離來陣列形成若干到數十數百項掃描路徑所構成的多區域測量模式,一鍵即可完成所有掃描路徑的自動測量。

3)3D測量模式:完成Focus后根據影像導航圖完成單區域掃描路徑設置,并可根據所需掃描的區域寬度或掃描線條的間距與數量完成整個掃描面區域的設置,一鍵即可自動完成整個掃描面區域的掃描和3D圖像重建。

4)SPC統計分析:支持對不同種類被測件進行多種指標參數的分析,針對批量樣品的測量數據提供SPC圖表以統計數據的變化趨勢。

3.雙導航光學影像功能

在NS200-D型號中配備了正視或斜視的500W像素的彩色相機,在正視導航影像系統中可精確設置掃描路徑,在斜視導航影像系統中可實時跟進掃描軌跡。

4.快速換針功能

采用了磁吸式測針,當需要執行換針操作時,可現場快速更換掃描測針,并根據軟件中的標定模塊進行快速標定,確保換針后的精度和重復性,減少維護煩惱。

軟膜材料臺階高度蝕刻速率測定儀

磁吸針實物外觀圖(330μm量程)


典型應用

軟膜材料臺階高度蝕刻速率測定儀


部分技術指標

型號NS200
樣品觀察500萬像素彩色攝像機 正視視野:2.2×1.7mm
探針傳感器
超低慣量,LVDC傳感器
平臺移動范圍X/Y電動X/Y(150mm*150mm)(可手動校平)
單次掃描長度55mm
樣品厚度50mm
載物臺晶圓尺寸200mm(8吋)
臺階高度重復性5 ?, 量程為330μm時/ 10 ?, 量程為1mm時(測量1μm臺階高度,1δ)
尺寸(L×W×H)mm630×610×500
重量40kg
儀器電源100-240 VAC,50/60 Hz,200W

懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。

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