臺(tái)階儀是一種常見的工業(yè)測(cè)量?jī)x器，廣泛應(yīng)用于大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體、高亮度LED、太陽(yáng)能、MEMS微機(jī)電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域。它能完成對(duì)微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測(cè)量。

工作原理

當(dāng)觸針沿被測(cè)表面輕輕滑過(guò)時(shí)，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí)還沿峰谷作上下運(yùn)動(dòng)。觸針的運(yùn)動(dòng)情況就反映了表面輪廓的情況。

CP200臺(tái)階儀采用線性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC），具有亞埃級(jí)分辨率，13um量程下可達(dá)0.01埃，具有良好的測(cè)量精度及重復(fù)性。高信噪比和低線性誤差，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征。可以測(cè)量各種材料的膜層厚度，包括金屬、陶瓷、塑料等，沒有特別的要求，樣品適應(yīng)面廣，數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測(cè)量穩(wěn)定、便捷、高效，是微觀表面測(cè)量中使用廣泛的微納樣品測(cè)量手段。

典型應(yīng)用

1、半導(dǎo)體應(yīng)用

(1)沉積薄膜的臺(tái)階高度

(2)抗蝕劑（軟膜材料）的臺(tái)階高度

(3)蝕刻速率測(cè)定

(4)化學(xué)機(jī)械拋光（腐蝕、凹陷、彎曲)

2、大型基板應(yīng)用

(1)印刷電路板（突起、臺(tái)階高度）

(2)窗口涂層

(3)晶片掩模

(4)晶片卡盤涂料

(5)拋光板

3、玻璃基板及顯示器應(yīng)用

(1)AMOLED

(2)液晶屏研發(fā)的臺(tái)階步級(jí)高度測(cè)量

(3)觸控面板薄膜厚度測(cè)量

(4)太陽(yáng)能涂層薄膜測(cè)量

4、柔性電子器件薄膜應(yīng)用

(1)有機(jī)光電探測(cè)器

(2)印于薄膜和玻璃上的有機(jī)薄膜

(3)觸摸屏銅跡線