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臺(tái)階儀工業(yè)測(cè)量?jī)x器:揭秘多領(lǐng)域應(yīng)用

來(lái)源:深圳市中圖儀器股份有限公司   2023年11月02日 10:48  

臺(tái)階儀是一種常見的工業(yè)測(cè)量?jī)x器,廣泛應(yīng)用于大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體、高亮度LED、太陽(yáng)能、MEMS微機(jī)電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域。它能完成對(duì)微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測(cè)量。

圖片1.jpg

工作原理

當(dāng)觸針沿被測(cè)表面輕輕滑過(guò)時(shí),由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí)還沿峰谷作上下運(yùn)動(dòng)。觸針的運(yùn)動(dòng)情況就反映了表面輪廓的情況。


CP200臺(tái)階儀采用線性可變差動(dòng)電容傳感器(LVDC),具有亞埃級(jí)分辨率,13um量程下可達(dá)0.01埃,具有良好的測(cè)量精度及重復(fù)性。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征。可以測(cè)量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等,沒有特別的要求,樣品適應(yīng)面廣,數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測(cè)量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測(cè)量中使用廣泛的微納樣品測(cè)量手段。


典型應(yīng)用

1、半導(dǎo)體應(yīng)用

(1)沉積薄膜的臺(tái)階高度

(2)抗蝕劑(軟膜材料)的臺(tái)階高度

(3)蝕刻速率測(cè)定

(4)化學(xué)機(jī)械拋光(腐蝕、凹陷、彎曲)

2、大型基板應(yīng)用

(1)印刷電路板(突起、臺(tái)階高度)

(2)窗口涂層

(3)晶片掩模

(4)晶片卡盤涂料

(5)拋光板

3、玻璃基板及顯示器應(yīng)用

(1)AMOLED

(2)液晶屏研發(fā)的臺(tái)階步級(jí)高度測(cè)量

(3)觸控面板薄膜厚度測(cè)量

(4)太陽(yáng)能涂層薄膜測(cè)量

4、柔性電子器件薄膜應(yīng)用

(1)有機(jī)光電探測(cè)器

(2)印于薄膜和玻璃上的有機(jī)薄膜

(3)觸摸屏銅跡線

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