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  • VersaProbe 4 X射線光電子能譜XPS

VersaProbe 4 X射線光電子能譜XPS

參考價(jià)
面議
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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時(shí)間2024-08-08
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)上海
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量167
  • 人氣值1125
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上海德竹芯源科技有限公司是一家專注于功率器件、光電器件、射頻器件、量子器件、MEMS傳感器領(lǐng)域的設(shè)備銷售、系統(tǒng)集成、設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的公司。主要為高校、研究所、中試量產(chǎn)線及晶圓FAB廠提供半導(dǎo)體工藝設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備、封裝設(shè)備、測(cè)試設(shè)備。目前公司已成為國(guó)內(nèi)少數(shù)幾家專業(yè)提供半導(dǎo)體工藝、檢測(cè)、封裝、測(cè)試整體解決方案的企業(yè)。公司主要成員為復(fù)旦大學(xué)、上海微系統(tǒng)所等半導(dǎo)體相關(guān)專業(yè)博士,擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)過(guò)硬的團(tuán)隊(duì)。能夠出色地完成售前售中、售后的服務(wù)。目前公司已與眾多國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等),致力于根據(jù)用戶的科研方向和量產(chǎn)的器件類別提供相應(yīng)的全套設(shè)備選型和工藝整體解決方案。
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VersaProbe 4 配置了新設(shè)計(jì)的能量分析器,能實(shí)現(xiàn)從微區(qū)到大面積的高靈敏度分析。同時(shí)還具備高精度的角度接受器、自動(dòng)荷電中和技術(shù)以及多樣化的選配方案等特性,能夠提供良好的深度分辨率。所有的這些特性都與自動(dòng)化技術(shù)相結(jié)合,使得 VersaProbe 4 能夠集高靈敏度、高可靠性和高可擴(kuò)展性等優(yōu)勢(shì)于一體。
VersaProbe 4 X射線光電子能譜XPS 產(chǎn)品詳情

關(guān)鍵技術(shù)

從小面積到大面積的高靈敏度分析

的深度剖析表現(xiàn)

自動(dòng)電荷雙束中和技術(shù)

自動(dòng)化和遠(yuǎn)程控制,提供靈活的工作環(huán)境

多樣化的配置


微聚焦的掃描X射線源

高靈敏度和低噪音能量分析器

作為一種重要的表面分析方法,廣泛應(yīng)用于固體材料表面的元素組分和化學(xué)態(tài)的研究,例如電池材料、催化劑、集成電路、半導(dǎo)體、金屬、聚合物、陶瓷和玻璃等,可滿足從研發(fā)到失效分析的廣泛分析需求。

采用了新的高靈敏度分析器,靈敏度是上一代的 2 倍,具有更低的檢測(cè)限,能夠?qū)崿F(xiàn)從微區(qū)(<10 µm)到大面積(>1 mm)的高靈敏度化學(xué)態(tài)分析。

微聚焦掃描 X 射線和 SXI 影像,通過(guò)類似 SEM 的 SXI 影像可以作為樣品導(dǎo)航,實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)地定義微區(qū)分析位置。

*SXI : 掃描X射線激發(fā)的二次電子影像





的深度剖析表現(xiàn)

使用微區(qū)XPS分析技術(shù)進(jìn)行準(zhǔn)確的深度剖析

VersaProbe 4 的高靈敏度微區(qū)分析和高度可重現(xiàn)的中和性能確保了深度分析的性能。樣品傾斜和樣品旋轉(zhuǎn)相結(jié)合,可同時(shí)實(shí)現(xiàn)高深度分辨率和高能量精度。



在不同起飛角(TOA)下獲得的 10 nm SiO2/ Si 薄膜的深度剖析結(jié)果




自動(dòng)電荷雙束中和技術(shù)

無(wú)需參數(shù)調(diào)整即可滿足任何絕緣樣品微區(qū)分析的荷電中和需求

VersaProbe 4 配備了自動(dòng)中和技術(shù),無(wú)需分別對(duì)每個(gè)待測(cè)樣品進(jìn)行中和參數(shù)調(diào)整。自動(dòng)中和采用低能量電子束和低能量離子束的雙束同時(shí)中和的技術(shù),實(shí)現(xiàn)了簡(jiǎn)單可靠的高效中和。

該技術(shù)適用于中和各種材料,配合操作軟件所提供的圖像配準(zhǔn)功能,可為微區(qū)分析帶來(lái)出色的自動(dòng)化操作體驗(yàn)。對(duì)于無(wú)機(jī)/有機(jī)混合材料以及從微區(qū)到大面積的所有分析尺寸,均可進(jìn)行可靠且自動(dòng)化的檢測(cè)分析。




微區(qū)特征的圖像配準(zhǔn)功能


自動(dòng)化和遠(yuǎn)程控制,提供靈活的工作環(huán)境

遠(yuǎn)程訪問(wèn)實(shí)現(xiàn)對(duì)儀器的遠(yuǎn)程控制

VersaProbe 4 允許通過(guò)公司的局域網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)訪問(wèn)儀器。一旦樣品被引入分析室,就可以使用 Intro 照片和 SXI 導(dǎo)航樣品,創(chuàng)建采集任務(wù)的自動(dòng)隊(duì)列,并可遠(yuǎn)程檢查測(cè)量狀態(tài)和分析數(shù)據(jù)。我們的專業(yè)人員可對(duì)儀器進(jìn)行遠(yuǎn)程診斷。




多樣化的配置

Ar 團(tuán)簇離子槍(Ar-GCIB)

UPS(紫外光電子能譜)

LEIPS(低能量反光電子能譜)配件用于 AES 分析的掃描電子槍配件

專用 REELS 電子槍

可拓展的樣品進(jìn)樣室

樣品傳送管

冷熱變溫樣品臺(tái)

4 觸點(diǎn)冷熱變溫樣品臺(tái)

雙陽(yáng)極X射線源

C60 離子槍

樣品預(yù)制備腔室

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