LUPHOScan HD
用于測量非球面、自由曲面光學元件和透鏡模具的非接觸式三維形狀/外形測量設備。
LUPHOScan HD非接觸式三維光學輪廓儀可對高偏差非球面和自由曲面等具有挑戰(zhàn)性的表面的半徑和不規(guī)則度進行高精度的非接觸式三維輪廓測量。LUPHOScan HD的穩(wěn)定性是Lin先的，特別在一些嚴苛的環(huán)境下，也能保證對非球面和自由曲面進行高精度地快速輪廓測量，新一代LUPHOScan HD三維輪廓儀是在高達 90°的采樣斜率上精度優(yōu)于 50 nm (3σ) 的儀器。
全新的 LuphoScan 260/420 HD是對高精度有著很高要求應用的理想選擇，是生產(chǎn)過程控制的基本要求。可測量坡度很高的表面、具有不同間距方向的表面、很小的表面例如手機鏡頭模具。
Technology | Accuracy |
| 在測量過程中，探頭對被測物體的整個表面執(zhí)行螺旋掃描，并生成高密度3D數(shù)據(jù)。 通過使用空氣軸承主軸旋轉物體來實現(xiàn)掃描，同時使用線性平臺使傳感器徑向和軸向移動。 旋轉平臺使傳感器垂直于物體表面。 移動平臺的布局提供了很高的靈活性，即使對于不常見的表面形狀（包括陡峭的坡度或帶有拐點的輪廓）也是如此。 基于所采用的MWLI傳感器技術的測量能力，計量儀器還可以檢查不連續(xù)的光學器件，例如分段表面，環(huán)形透鏡，非球面透鏡和軸錐。 此外，LuphoSwap擴展組件還可以確定透鏡的厚度以及楔形和偏心誤差。 它的軟件還可以用于分析（全自動）光學表面相對于用戶定義的參考表面的定位，例如鏡片周邊，任何鏡片安裝座或模具鏡筒。 | LuphoScan平臺可提供出色的形狀測量精度。 這是通過特別的參考框架概念和遵循阿貝原理的精密的參考傳感器布置實現(xiàn)的。 在LuphoScan 260 HD平臺中，通過選擇新的材料，改進的傳感器控制，實時包括周圍環(huán)境以及的校準功能對概念進行了優(yōu)化。 這樣，高清系統(tǒng)在90°范圍內(nèi)提供的測量精度優(yōu)于±50 nm（3σ）。 此外，測量結果的可重復性和本底噪聲得到了非常大的改善。 下圖顯示了在高達90°的重復測量中確定的校準球（D = 25 mm）的功率和PV誤差變化的示例。 在14小時的測量期間內(nèi)，功率和PV的變化分別保持小于±15 nm和±5 nm。 |
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測量能力非常高 |
快速的、值得信賴的非球面表面非接觸式三維形狀測量
高精度 - 物件坡度高至90°。
是測量大的、陡峭的和很小的非球面鏡頭（如手機鏡頭模具）的理想選擇
測量結果很高的重復性
Power和PV測定參數(shù)的穩(wěn)定性
系統(tǒng)噪音很低
堅固耐用，不受環(huán)境變化的影響
LuphoScan平臺是基于利用MWLI技術（多波長干涉儀）的光學（非接觸）點探針的掃描干涉儀。
