| 歐萊迪升華儀BOF-6-130指標規格 | |||||
| 項目 | 組成系統部件 | 分項明細 | 品牌及規格 | 部件明細 | 規格參數 |
| 升華爐 | 設備主體系統 | 設備整體尺寸及布局 | 歐萊迪/定制型 | 設備外形布局 | L型 |
| 長度 | 長≤2700mm | ||||
| 寬度 | 寬≤1600mm | ||||
| 高度 | 高≤1800mm | ||||
| 部件順序 | 石英外管-過濾網-主閥門-冷阱-分子泵 | ||||
| 石英管 | 太平洋/Φ1300*2500*5mm | 石英外管尺寸規格設計 | 外管直徑1300mm,長度2500mm，厚度5mm | ||
| 石英外管連接方式 | 凹槽內嵌式，凹槽高度＞5mm（詳見附圖）遠端接口帶滑軌 | ||||
| 真空法蘭及腔體 | 歐萊迪/定制型 | 真空腔體材質 | 亮面不銹鋼鋼管 ( SUS 304 ) | ||
| 保護系統 | 歐萊迪/定制型 | 過濾網 | 單層金屬濾網 | ||
| 簡易拆卸，易清潔保養 | |||||
| 冷阱 | 真空隔層式冷阱設計 | ||||
| 易拆、易清潔保養（手能伸入 冷阱 內） | |||||
| 不銹鋼 / 內外均 亮面 拋光 | |||||
| 單體外徑180-260mm | |||||
| 設備基座 | 歐萊迪/定制型 | 設備基座，機身材質 | 采用『方管骨架』基座，底部附活動輪及水平調整腳，亮面不銹鋼作為臺面 ( SUS 304 ) | ||
| 設備基座高度（加熱爐以下） | 高度≤ 800mm | ||||
| 基座門板 | 易拆卸蓋板，冷板噴塑 | ||||
| 高溫爐系統 | 熱場模塊 | 阿爾塞（日本）/定制型 | 爐體 | 上下各6段，12點檢測溫度 | |
| 每段加熱區長度設定=200+200+400+200+300+200mm | |||||
| 加熱段之間隔斷尺寸設定= 10mm | |||||
| 加熱爐兩側外殼距離外管連接處＞100mm | |||||
| 溫度 | 軟件溫控保護溫=600°C， | ||||
| 設備硬件支持溫度＞800°C | |||||
| 功率控制模塊 | 主加熱區：40A | ||||
| 升溫程序模塊 | 數據可輸出，觸控屏設置溫度程序 | ||||
| 爐體制動系統 | 歐萊迪/定制型 | 爐體開關 | 電動缸開蓋系統 （可寸動） | ||
| 人機觸控開關 | |||||
| 實體控制開關 | |||||
| 散熱系統 | 歐萊迪/定制型 | 散熱風扇 | 耐高溫材質 | ||
| 水電氣要求 | / | 電 | 整機使用電源380V，整機功率小于22KVA | ||
| 水 | 分子泵冷卻水，流量5L/min | ||||
| 氣 | 氣動閥，破真空皆用高純N2，壓力0.6Mpa | ||||
| 人機控制界面 | 人機硬件系統 | MCGS | 觸碰式屏幕 | 10.4寸屏 | |
| 軟件控制功能 | / | 功能實現 | 觸摸屏可加屏幕鎖，防止誤觸 | ||
| 整合設備各氣動閥操作，各部件開關，和加熱系統設置 | |||||
| 分自動模式與 手動模式 | |||||
| 真空 系統 | 真空系統 | 主泵 | 中科儀/FF250/1600G | 分子泵 | FF250/1600G， 抽速1600L/s |
| 高真空抽氣管路 | 歐萊迪/定制型 | 主抽管路 | 抽真空端采用了主管直徑250mm的分子泵直連，確保實驗中高真空的需求，在直徑直管中間加插板閥。 | ||
| 前級泵 | 鮑斯/BSV30 | 機械泵 | 抽速30m³/h | ||
| 低真空抽氣管路 | 歐萊迪/定制型 | 旁抽管路 | 插板閥的兩端加直徑16mm細管旁抽支路，防止在初真空時抽速太大影響分子擴散的方向，導致材料不均勻。 | ||
| 真空度指標 | / | 低真空泵排氣速率 | 主腔體20min內真空度低于2x10^-2torr | ||
| 高真空泵排氣速率 | 開啟分子泵后，40min內主腔體真空度低于5x10^-6torr | ||||
| 保壓測試 | 到達極限真空度后（5x10^-6torr），關閉所有閥門，30min后低于2x10^-2torr | ||||
