技術參數

　　1.加熱元件：進口KTL電阻絲。

　　2.加熱區數量：5-8區(可根據需求定制)，實現一個溫曲兩點控制，使溫場更均勻。

　　3.升華區溫度：室溫至800℃，連續可調。

　　保溫區溫度：室溫至400℃可調;恒溫溫度隨時間和空間波動不大于±1℃(測試方法符合國家計量標準JJF 1184-2007)。

　　4.升華舟容積：0.5～10克，50～500克，500～2000克。

　　5.控溫方式：人機界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，數字工控儀表雙控，采用工業智能控溫儀表和軟件實現雙控，采用模糊型PID控制。

　　6.無紙記錄：內置存儲記錄運行工藝數據，外接USB接口，可以電腦連接一鍵拷貝數據。

　　7.結構描述：①設備可電動對半開啟，自動控制冷卻降溫系統.實現可控冷卻速度.

　　②在進料端配備2路高精度質量流量計系統，準確控制氣體流量，可以實現生產工藝拓展和調整。

　　③系統采用自動化工藝流程，設定好工藝一鍵操作,降低人為因素，工藝可靠性可達到99.9%。

　　8.過濾方式：系統采用三級過濾保護裝置，分別采用5級微孔金屬濾網、2套液氮內嵌式冷凝、90度直角臺階式過濾。

　　9.外管尺寸Φ210X2000mm，腔體采用三層石英管裝置，可以自動進出料，結構可保證真空室管不受污染，保持較高的真空度。中層管取料方便，易于清洗，內層料管分段升華后各段料容易區分，能限度的保證產品和純度和產率(升華率97%，與材料和配置有關)。

　　10.腔體采用內控溫和外控溫相互切換，防止石英折射和散射造成的溫場不均勻現象。

　　11.設備的正面端面都采用石英密封觀察窗，可以觀察生產中材料的提純情況，配上攝像系統可實現生產升華過程全監控和記錄。

　　12.抽真空端采用了主管直徑200mm的分子泵直連，確保實驗中高真空的需求，在直徑200mm直管中間加插板閥，插板閥的兩端加直徑3mm細管多孔旁抽支路，防止在初真空時抽速太大影響分子擴散的方向，導致材料不均勻。

　　13.前級機械泵 60m³/h,分子泵抽速160L/S。

　　本底真空：機械泵系統：1Pa 分子泵系統10-4Pa。

　　多種異形內管可以選購