TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CT
W 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)
典型應用
- 半導體工業，諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導體工藝
- 進樣室，轉移室
- 粒子加速器
- 科研
- 鍍膜系統
技術特點
- 主動定位五軸磁懸浮軸承系統
- 軸承系統的數字監控
- 噪聲和振動低
- 任意方向安裝
- *的轉子設計，實現高抽速和高前級耐壓
- 智能電源控制系統
- CT版集成溫度管理系統（TMS）
- C版耐腐蝕
客戶得益
- 免維護
- 所有工藝氣體都有高氣載量
- 極限低，抽速高
- 前級耐壓高
- 同類中重量較輕，尺寸較小
- 耐粉塵
- 溫控達 90 °C (194 °F)，避免沉積物
（CT版）
- 高耐腐蝕性-CT版
- 氣體吹掃系統
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技術特點
- 主動定位五軸磁懸浮軸承系統
- 軸承系統的數字監控
- 噪聲和振動低
- 任意方向安裝
- *的轉子設計，實現高抽速和高前級耐壓
- 智能電源控制系統
- CT版集成溫度管理系統（TMS）
- C版耐腐蝕
客戶得益
- 免維護
- 所有工藝氣體都有高氣載量
- 極限低，抽速高
- 前級耐壓高
- 同類中重量輕，尺寸小
- 耐粉塵
- 溫控達 90 °C (194 °F)，避免沉積物
（CT版）
- 高耐腐蝕性-CT版
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典型應用
- 半導體工業，諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導體工藝
- 進樣室，轉移室
- 粒子加速器
- 科研
- 鍍膜系統
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技術參數 | TURBOVAC MAG | ||||||
W 2200 C/CT | W 2200 | ||||||
進氣口 | DN | 200 ISO-F | 250 ISO-F | 250 CF | |||
PNEUROP的抽速氮氣 氬氣 氦氣 氫氣 | I x s-1I x s-1I x s-1I x s-1 | ||||||
額定轉速 | min-1 | 29 400 | 29 400 | 29 400 | |||
壓縮比氮氣 | > 1 x 108 | > 1 x 108 | 1 x 108 | ||||
極限壓強，根據 DIN 28 400 | mbar (Torr) | < 10-8 (< 0 75 x 10-8) | < 10-8 (< 0 75 x 10-8) | < 1 x 10-10 (< 0 75 x 10-10) | |||
前級耐壓（對氮氣）對流冷卻時 水冷卻時 | mbar (Torr)mbar (Torr) | – 2 (1 5) | – 2 (1 5) | 0 1 (0 075) 1 (0 75) | |||
推薦的前級泵抽速達100m3/h的旋片泵或干泵 | TRIVAC D 65 BCS | TRIVAC D 65 BCS | TRIVAC D 65 BCS | ||||
啟動時間達95%名義轉度時 | min | < 8 | < 8 | < 8 | |||
出氣口外形尺寸 | DN | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | |||
吹掃和破空口 | 1/4" VCR | 1/4" VCR | DN 10/16 | ||||
冷卻水接口（管道外徑） | 1/2" | 1/2" | Swagelok管1/4" | ||||
重量（近似） | kg (lbs) | 48 (106) | 48 (106) | 60 (132) | |||
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