TURBOVAC MAG 磁懸浮分子泵
TURBOVAC MAG系列
TURBOVAC MAG系列耐腐蝕磁懸浮分子泵，適用于從10-1 mbar(0.75 x 10-1Torr)至10-10 mbar(0.75 x 10-10 Torr)的壓強(qiáng)范圍。對空氣的抽速從300 l x s-1(進(jìn)氣口法蘭直徑 = 100mm(3.94in.))至3200 l x s-1(進(jìn)氣口法蘭直徑 = 320mm(12.6in.))不等。
TURBOVAC MAG泵較常用于半導(dǎo)體工業(yè)，例如蝕刻、CVD、PVD和離子注入，也就是需要抽除腐蝕性氣體的應(yīng)用條件。
TURBOVAC MAGiNTEGRA系列
TURBOVAC MAGiNTEGRA系列磁懸浮分子泵是集現(xiàn)代真空科技之大成的新產(chǎn)品！
它設(shè)計精良，性能優(yōu)異，可靠耐用是高真空應(yīng)用的睿智選擇。新的主動定位五軸磁懸浮技術(shù)與萊寶真空專有抗沖擊設(shè)計相結(jié)合， 保證了TURBOVAC MAGiNTEGRA系列分子泵既保持了磁懸浮分子泵無磨損的優(yōu)勢又延續(xù)了萊寶分子泵耐沖擊的一貫特性。
TURBOVAC MAGiNTEGRA系列分子泵適合短節(jié)拍大氣載的應(yīng)用，可幫助客戶縮短工藝節(jié)拍，提高工作效率。非常適合電子顯微鏡，玻璃鍍膜、工業(yè)和科研等應(yīng)用。
TURBOVAC MAC產(chǎn)品線的優(yōu)勢是：
- 無碳?xì)浠衔铮梢詫崿F(xiàn)清潔的高真空和超高真空條件；
- 任何安裝方向都具有高性能
- 運(yùn)行高度可靠
- 振動極低
- 防腐蝕版可以抽除腐蝕性氣體
- 免維護(hù)
典型應(yīng)用
- 氣體分析系統(tǒng)
- 粒子加速器
- 電子顯微鏡
- 科研
- 鍍膜設(shè)備
技術(shù)特點
- 任意方向安裝
- ISO-K或CF高真空接口
- DN 16 ISO-KF，帶卡簧式前級真空接口
- 保護(hù)氣/破空接口DN 16 ISO-KF（卡簧式接口）
- 可選擇水冷或風(fēng)冷
- CE和RoHS認(rèn)證：滿足UL要求
- 標(biāo)準(zhǔn)9針24 V SPS，PLC接口
- RS 232 C，維護(hù)接口
- 可以安裝其它接口:Profibus, RS 485 C
客戶得益
- 尺寸可能較小，抽速較高
- 免維護(hù)
- 適合用于分析儀器、薄膜技術(shù)、電子顯微鏡、科研領(lǐng)域?qū)φ駝用舾械膽?yīng)用場合
- 由于采用模塊化設(shè)計具有靈活性；也可以提供臺式變頻器
- 兩個工業(yè)通信模塊卡接口
更多信息請聯(lián)系萊寶：安博元科技 info
TURBOVAC MAC產(chǎn)品線的優(yōu)勢是：
- 無碳?xì)浠衔铮梢詫崿F(xiàn)清潔的高真空和超高真空條件；
- 任何安裝方向都具有高性能
- 運(yùn)行高度可靠
- 振動極低
- 防腐蝕版可以抽除腐蝕性氣體
- 免維護(hù)
技術(shù)特點
- 任意方向安裝
- ISO-K或CF高真空接口
- DN 16 ISO-KF，帶卡簧式前級真空接口
- 保護(hù)氣/破空接口DN 16 ISO-KF（卡簧式接口）
- 可選擇水冷或風(fēng)冷
- CE和RoHS認(rèn)證：滿足UL要求
- 標(biāo)準(zhǔn)9針24 V SPS，PLC接口
- RS 232 C，維護(hù)接口
- 可以安裝其它接口:Profibus, RS 485 C
客戶得益
- 尺寸可能較小，抽速較高
- 免維護(hù)
- 適合用于分析儀器、薄膜技術(shù)、電子顯微鏡、科研領(lǐng)域?qū)φ駝用舾械膽?yīng)用場合
- 由于采用模塊化設(shè)計具有靈活性；也可以提供臺式變頻器
- 兩個工業(yè)通信模塊卡接口
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典型應(yīng)用
- 氣體分析系統(tǒng)
- 粒子加速器
- 電子顯微鏡
- 科研
- 鍍膜設(shè)備
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技術(shù)參數(shù) | TURBOVAC MAG | |||||||
W 300 iP | W 400 iP | |||||||
進(jìn)氣口法蘭 | DN | 100 ISO-K | 100 CF | 160 ISO-K | 160 CF | |||
抽速氮氣 氬氣 氦氣 氫氣 | I x s-1I x s-1I x s-1I x s-1 | 300 260 260 190 | 300 260 260 190 | 365 330 280 200 | 365 330 280 200 | |||
轉(zhuǎn)速 | min-1 | 58 800 | 58 800 | 58 800 | 58 800 | |||
壓縮比氮氣氫氣氦氣 | 1 0 x 1010 3 2 x 103 9 2 x 104 | 1 0 x 1010 3 2 x 103 9 2 x 104 | 1 0 x 1010 3 2 x 103 9 2 x 104 | 1 0 x 1010 3 2 x 103 9 2 x 104 | ||||
極限壓強(qiáng) | mbar (Torr) | < 10-8 (< 0 75 x 10-8) | < 10-10 (< 0 75 x 10-10) | < 10-8 (< 0 75 x 10-8) | < 10-10 (< 0 75 x 10-10) | |||
高除氣溫度 | °C (°F) | – | 80 (176) | – | 80 (176) | |||
前級耐壓，對于氮氣 | mbar (Torr) | 8 (6) | 8 (6) | 8 (6) | 8 (6) | |||
推薦的前級泵 | TRIVAC D 2,5 E TRIVAC D 8 B | TRIVAC D 2,5 E TRIVAC D 8 B | TRIVAC D 2,5 E TRIVAC D 8 B | T | RIVAC D 2,5 E TRIVAC D 8 B | |||
加速時間 | min | < 5 | < 5 | < 5 | < 5 | |||
前級管道法蘭(卡簧式) | DN | 16 ISO-KF | 16 ISO-KF | 16 ISO-KF | 16 ISO-KF | |||
保護(hù)氣/破空端口(卡簧式) | DN | 16 ISO-KF | 16 ISO-KF | 16 ISO-KF | 16 ISO-KF | |||
水冷接口尺寸(可選) | G | 1/8" | 1/8" | 1/8" | 1/8" | |||
重量 | kg (lbs) | 12 (26) | 12 (26) | 12 (26) | 12 (26) | |||
更多信息請聯(lián)系萊寶：安博元科技 info
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