氦檢質(zhì)譜漏儀的原理
氦檢質(zhì)譜漏儀可查找漏點(diǎn)位置并測(cè)定漏率（通過(guò)漏孔的氣體流量）。因此，氦質(zhì)譜檢漏儀是一臺(tái)氦流量計(jì)。
檢漏儀在工作過(guò)程中首先是對(duì)試驗(yàn)對(duì)象進(jìn)行抽真空，來(lái)形成壓差使外部氣體穿過(guò)漏孔進(jìn)入檢漏儀。檢漏儀利用內(nèi)置氦質(zhì)譜儀測(cè)量進(jìn)入檢漏儀氣體氦分壓并將測(cè)量結(jié)果轉(zhuǎn)換為漏率顯示。顯示值單位一般采用流量單位。
重要技術(shù)規(guī)范
測(cè)量范圍和響應(yīng)時(shí)間是檢漏儀的兩個(gè)重要的參數(shù)。
測(cè)量范圍用小和可檢漏率限定。
小可檢漏率用靈敏的測(cè)量范圍系統(tǒng)的漂移與噪聲之和定義。每分鐘內(nèi)系統(tǒng)噪聲幅度和零點(diǎn)漂移相加就可以得到低可檢漏率。檢漏儀的零點(diǎn)漂移量非常小，所以一般僅采用噪聲幅度就可以確定檢漏儀的小可檢漏率。可檢漏率依賴(lài)于所采用的檢漏方法，利用逆流法和分流法（參見(jiàn)下面的說(shuō)明）可以測(cè)量非常大的漏率。此外，檢漏儀內(nèi)部的多級(jí)高阻抗輸入開(kāi)關(guān)放大器也能提高檢漏儀測(cè)量大漏的能力。在實(shí)際的檢漏操作過(guò)程中特別是查找漏點(diǎn)的時(shí)候，響應(yīng)時(shí)間十分重要。該時(shí)間指從用氦氣噴吹試驗(yàn)對(duì)象直到檢漏儀顯示測(cè)量值所用的時(shí)間。電子信號(hào)調(diào)節(jié)電路系統(tǒng)的響應(yīng)時(shí)間是總響應(yīng)時(shí)間的重要組成部分。對(duì)于檢漏儀來(lái)說(shuō)，電氣系統(tǒng)的響應(yīng)時(shí)間遠(yuǎn)小于1秒。
檢漏設(shè)備對(duì)氦的有效抽速?zèng)Q定了氦氣通過(guò)漏孔進(jìn)入檢漏儀的時(shí)間（如果檢漏設(shè)備沒(méi)有輔助抽空的系統(tǒng)，檢漏儀內(nèi)置的真空泵的大小會(huì)影響系統(tǒng)的響應(yīng)時(shí)間）。檢漏系統(tǒng)的響應(yīng)時(shí)間可根據(jù)下面的簡(jiǎn)單公式計(jì)算：
氦響應(yīng)時(shí)間 
(達(dá)到實(shí)際漏率95%的時(shí)間)
其中 V = 試驗(yàn)對(duì)象容積
SHe = 檢漏系統(tǒng)對(duì)氦的有效抽速。
用標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn)檢漏儀
檢漏工藝要求準(zhǔn)確地區(qū)分漏與不漏的試用對(duì)象，避免任何失誤。這就需要由標(biāo)準(zhǔn)漏孔（能產(chǎn)生已知氦漏率的人工漏孔）作為檢漏設(shè)備的基準(zhǔn)。為了獲得準(zhǔn)確的漏率數(shù)據(jù)，必須使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)校準(zhǔn)檢漏儀進(jìn)行校準(zhǔn)。
萊寶真空可以提供采用不同原理設(shè)計(jì)的漏率范圍10 - 9 ~ 10 - 4毫巴x升x秒 - 1的氦標(biāo)準(zhǔn)漏孔。所有標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率都可以追溯到PTB（ 聯(lián)邦物理技術(shù)協(xié)會(huì)） 和
DAKKS認(rèn)證認(rèn)可的標(biāo)準(zhǔn)。根據(jù)客戶(hù)的要求， 每個(gè)氦標(biāo)準(zhǔn)漏孔都可以提供由DAkkS認(rèn)證認(rèn)可委員會(huì)頒發(fā)的校準(zhǔn)證書(shū)。校準(zhǔn)工作由萊寶真空在PTB的DAKKS校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室完成。
更多信息請(qǐng)聯(lián)系萊寶：安博元科技 info
PHOENIX L300i MODUL是模塊化的檢漏儀。它以PHOENIX L300i為基礎(chǔ)，但沒(méi)有集成前級(jí)真空泵。客戶(hù)可以根據(jù)特定用途選擇并添加外部前級(jí)真空泵。適合大型真空室檢漏或快速循環(huán)檢大漏等檢漏應(yīng)用。
PHOENIX L300i MODUL保持PHOENIXL300i特性，并可以根據(jù)客戶(hù)需求配置前級(jí)泵。
兩個(gè)基本類(lèi)型：
- 干式檢漏系統(tǒng)（配置干式前級(jí)泵）
- 油式檢漏系統(tǒng)（配置油封式前級(jí)泵）
PHOENIX L300i MODUL配置油封前級(jí)泵
根據(jù)檢漏應(yīng)用的要求配置抽速適當(dāng)?shù)那?/span>
級(jí)泵將檢漏儀的功能發(fā)揮到。
客戶(hù)得益
- 高效的檢漏儀
- 抽速按照特定用途進(jìn)行了優(yōu)化
- 響應(yīng)速度快
- 高靈敏度
- 可以快速定量地檢測(cè)出小漏
PHOENIX L300i MODUL配置干式前級(jí)泵
為客戶(hù)提供高效的干式檢漏系統(tǒng)。
客戶(hù)得益
- 大抽速，可用于測(cè)試半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備
而不必采用輔助抽空系統(tǒng)
- 響應(yīng)速度快
- 恢復(fù)時(shí)間短（氦污染后）
- 干燥無(wú)油
- 高靈敏度
更多信息請(qǐng)聯(lián)系萊寶：安博元科技 info
PHOENIX L300i MODUL配置油封前級(jí)泵
典型應(yīng)用
涉短循環(huán)和/或大容積、需要有移動(dòng)式
檢漏系統(tǒng)的所有用途，例如：
- 汽車(chē)工業(yè)
- 制冷行業(yè)
- 工業(yè)爐/機(jī)床/真空系統(tǒng)
- 包裝
PHOENIX L300i MODUL配置干式前級(jí)泵
典型應(yīng)用
需要工藝清潔的所有用途，例如：
- 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)（芯片制造商）
- 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)（OEM和分包商）
- 高純度氣體行業(yè)
- 科研
- 超高真空應(yīng)用
更多信息請(qǐng)聯(lián)系萊寶：安博元科技 info
技術(shù)參數(shù) | PHOENIX L300i MODUL | |||||||
配置單級(jí)旋片泵 | 配置雙級(jí)旋片泵 | 配置渦旋泵 | ||||||
小可檢氦漏率真空模式吸槍模式（實(shí)驗(yàn)室數(shù)據(jù)） | 毫巴x升x秒-1毫巴x升x秒-1 | ≤ 5 x 10-11 < 7 x 10-9 | ≤ 5 x 10-12 < 7 x 10-9 | ≤ 8 x 10-12 < 7 x 10-9 | ||||
小可檢氫漏率真空模式吸槍模式 | 毫巴x升x秒-1毫巴x升x秒-1 | ≤ 1 x 10-8 < 1 x 10-7 | ≤ 1 x 10-8 < 1 x 10-7 | ≤ 1 x 10-8 < 1 x 10-7 | ||||
入口高壓強(qiáng)帶分流系統(tǒng) | 毫巴（托）毫巴（托） | 15 1000 | 15 1000 | 15 1000 | ||||
抽真空期間的抽速，泵（50赫茲） | ||||||||
SOGEVAC SV 16 BI | 立方米/小時(shí) | 16 | – | – | ||||
SOGEVAC SV 28 BI | 立方米/小時(shí) | 25 | – | – | ||||
SOGEVAC SV 40 BI | 立方米/小時(shí) | 40 | – | – | ||||
TRIVAC D 16 B | 立方米/小時(shí) | – | 16 | – | ||||
TRIVAC D 25 B | 立方米/小時(shí) | – | 26 | – | ||||
SCROLLVAC SC 15 D | 立方米/小時(shí) | – | – | 13 | ||||
SCROLLVAC SC 30 DL | 立方米/小時(shí) | – | – | 26 | ||||
入口抽速（氦） | 升/秒 | > 3 1 | > 3 1 | > 3 1 | ||||
漏率信號(hào)時(shí)間常數(shù)（達(dá)63%終值） | 秒 | < 1 | < 1 | < 1 | ||||
小可檢漏率 | 毫巴x升x秒-1 | 1 x 10-12 to 1 · 10-1 | 1 x 10-12 to 1 · 10-1 | 1 x 10-12 to 1 · 10-1 | ||||
測(cè)量單位（可選）壓強(qiáng)漏率吸槍模式 | mbar, Pa, atm, Torr mbar x l x s-1, Pa x m3 x s-1, Torr x l x s-1, atm x cc x sec-1, sft3/yr ppm, g/a eq, oz/yr eq | mbar, Pa, atm, Torr mbar x l x s-1, Pa x m3 x s-1, Torr x l x s-1, atm x cc x sec-1, sft3/yr ppm, g/a eq, oz/yr eq | mbar, Pa, atm, Torr mbar x l x s-1, Pa x m3 x s-1, Torr x l x s-1, ppm, g/a eq, oz/yr eq | |||||
檢漏儀啟動(dòng)時(shí)間 | 分鐘 | < 2 | < 2 | < 2 | ||||
質(zhì)譜儀 | 180°扇形磁場(chǎng) | 180°扇形磁場(chǎng) | 180°扇形磁場(chǎng) | |||||
離子源 | 2氧化釔/銥長(zhǎng)效陰極 | 2氧化釔/銥長(zhǎng)效陰極 | 2氧化釔/銥長(zhǎng)效陰極 | |||||
可檢測(cè)質(zhì)量數(shù) | 2, 3 和 4 | 2, 3 和 4 | 2, 3 和 4 | |||||
入口 | 1 x DN 25 ISO-KF | 1 x DN 25 ISO-KF | 1 x DN 25 ISO-KF | |||||
尺寸（寬x高x深） | mm | 495 x 456 x 314 | 495 x 456 x 314 | 495 x 456 x 314 | ||||
重量 | 千克(磅) | 30 | 30 | 30 | ||||
語(yǔ)言 | 英語(yǔ)、德語(yǔ)、中文、日語(yǔ)、俄語(yǔ)、法語(yǔ)、意大利語(yǔ)、西班牙語(yǔ)、波蘭語(yǔ)和朝鮮語(yǔ) | |||||||
更多信息請(qǐng)聯(lián)系萊寶：安博元科技 info
訂貨信息 | PHOENIX L300i MODUL | ||
產(chǎn)品號(hào) | 產(chǎn)品號(hào) | ||
PHOENIX L300i MODUL無(wú)前級(jí)真空泵 115-230V，50/60Hz | 250002V01 | 250002V01 | |
附件 | |||
推薦的前級(jí)真空泵 SOGEVAC SV 16 BI SOGEVAC SV 28 BI SOGEVAC SV 40 BI TRIVAC D 16 B TRIVAC D 25 B SCROLLVAC SC 15 D SCROLLVAC SC 30 DL | 歐洲版230V, 50Hz 960 286960 277根據(jù)需求提供113 25113 35133 001 133 050 | 美國(guó)版 115V, 60Hz 根據(jù)需求提供 根據(jù)需求提供根據(jù)需求提供 根據(jù)需求提供 根據(jù)需求提供 133 101 133 051 | |
其他附件參見(jiàn)“PHOENIX L300i、PHOENIX L300iDRY和PHOENIX L300i MODUL附件”部分。 更多信息請(qǐng)聯(lián)系萊寶：安博元科技 info | |||
