氦檢質(zhì)譜漏儀的原理
氦檢質(zhì)譜漏儀可查找漏點(diǎn)位置并測(cè)定漏率（通過(guò)漏孔的氣體流量）。因此，氦質(zhì)譜檢漏儀是一臺(tái)氦流量計(jì)。
檢漏儀在工作過(guò)程中首先是對(duì)試驗(yàn)對(duì)象進(jìn)行抽真空，來(lái)形成壓差使外部氣體穿過(guò)漏孔進(jìn)入檢漏儀。檢漏儀利用內(nèi)置氦質(zhì)譜儀測(cè)量進(jìn)入檢漏儀氣體氦分壓并將測(cè)量結(jié)果轉(zhuǎn)換為漏率顯示。顯示值單位一般采用流量單位。
重要技術(shù)規(guī)范
測(cè)量范圍和響應(yīng)時(shí)間是檢漏儀的兩個(gè)重要的參數(shù)。
測(cè)量范圍用小和可檢漏率限定。
小可檢漏率用靈敏的測(cè)量范圍系統(tǒng)的漂移與噪聲之和定義。每分鐘內(nèi)系統(tǒng)噪聲幅度和零點(diǎn)漂移相加就可以得到低可檢漏率。檢漏儀的零點(diǎn)漂移量非常小，所以一般僅采用噪聲幅度就可以確定檢漏儀的小可檢漏率。可檢漏率依賴(lài)于所采用的檢漏方法，利用逆流法和分流法（參見(jiàn)下面的說(shuō)明）可以測(cè)量非常大的漏率。此外，檢漏儀內(nèi)部的多級(jí)高阻抗輸入開(kāi)關(guān)放大器也能提高檢漏儀測(cè)量大漏的能力。在實(shí)際的檢漏操作過(guò)程中特別是查找漏點(diǎn)的時(shí)候，響應(yīng)時(shí)間十分重要。該時(shí)間指從用氦氣噴吹試驗(yàn)對(duì)象直到檢漏儀顯示測(cè)量值所用的時(shí)間。電子信號(hào)調(diào)節(jié)電路系統(tǒng)的響應(yīng)時(shí)間是總響應(yīng)時(shí)間的重要組成部分。對(duì)于檢漏儀來(lái)說(shuō)，電氣系統(tǒng)的響應(yīng)時(shí)間遠(yuǎn)小于1秒。
檢漏設(shè)備對(duì)氦的有效抽速?zèng)Q定了氦氣通過(guò)漏孔進(jìn)入檢漏儀的時(shí)間（如果檢漏設(shè)備沒(méi)有輔助抽空的系統(tǒng)，檢漏儀內(nèi)置的真空泵的大小會(huì)影響系統(tǒng)的響應(yīng)時(shí)間）。檢漏系統(tǒng)的響應(yīng)時(shí)間可根據(jù)下面的簡(jiǎn)單公式計(jì)算：
氦響應(yīng)時(shí)間 
(達(dá)到實(shí)際漏率95%的時(shí)間)
其中 V = 試驗(yàn)對(duì)象容積
SHe = 檢漏系統(tǒng)對(duì)氦的有效抽速。
用標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn)檢漏儀
檢漏工藝要求準(zhǔn)確地區(qū)分漏與不漏的試用對(duì)象，避免任何失誤。這就需要由標(biāo)準(zhǔn)漏孔（能產(chǎn)生已知氦漏率的人工漏孔）作為檢漏設(shè)備的基準(zhǔn)。為了獲得準(zhǔn)確的漏率數(shù)據(jù)，必須使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)校準(zhǔn)檢漏儀進(jìn)行校準(zhǔn)。
萊寶真空可以提供采用不同原理設(shè)計(jì)的漏率范圍10 - 9 ~ 10 - 4毫巴x升x秒 - 1的氦標(biāo)準(zhǔn)漏孔。所有標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率都可以追溯到PTB（ 聯(lián)邦物理技術(shù)協(xié)會(huì)） 和
DAKKS認(rèn)證認(rèn)可的標(biāo)準(zhǔn)。根據(jù)客戶(hù)的要求， 每個(gè)氦標(biāo)準(zhǔn)漏孔都可以提供由DAkkS認(rèn)證認(rèn)可委員會(huì)頒發(fā)的校準(zhǔn)證書(shū)。校準(zhǔn)工作由萊寶真空在PTB的DAKKS校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室完成。
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PHOENIX L300i是便攜式多用途氦檢漏儀，適合維修和連續(xù)生產(chǎn)檢測(cè)。堅(jiān)固耐用的模塊化設(shè)計(jì)和簡(jiǎn)單的操作界面使得PHOENIX L300i成為用戶(hù)得心應(yīng)手的檢漏儀之一。可以利用遠(yuǎn)程控制器iPAD或RC 310實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程遙控。
客戶(hù)得益
- 小可檢低漏率低
- 氦恢復(fù)時(shí)間短
- 在2分鐘內(nèi)快速啟動(dòng)
- 響應(yīng)時(shí)間極短
- 可以配置無(wú)油系統(tǒng)
- 小氦檢漏儀之一
- 靈敏度高
- 可以快速定量地檢測(cè)出小漏
- 模塊化設(shè)計(jì)使得維修十分便利。
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典型應(yīng)用
適合應(yīng)用的檢漏要求：
- 質(zhì)檢
- 汽車(chē)工業(yè)
- 分析儀器
- 發(fā)電廠
- 科研
- 半導(dǎo)體工業(yè)
- 高真空和超高真空系統(tǒng)
- 工業(yè)連續(xù)生產(chǎn)檢測(cè)的理想工具
- 制冷行業(yè)
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技術(shù)參數(shù) | PHOENIX L300i | ||||
小可檢氦漏率真空模式吸槍模式（實(shí)驗(yàn)室數(shù)據(jù)） | 毫巴x升x秒-1毫巴x升x秒-1 | ≤ 5 x 10-12 < 7 x 10-9 | |||
小可檢氫泄漏率真空模式吸槍模式 | 毫巴x升x秒-1毫巴x升x秒-1 | ≤ 1 x 10-8 < 1 x 10-7 | |||
測(cè)量單位（可選）壓強(qiáng)漏率吸槍模式 | mbar x l x s-1, | mbar, Pa, atm, Torr Pa x m3 x s-1, Torr x l x s-1, atm x cc x sec-1, sft3/yr ppm, g/a eq, oz/yr eq | |||
漏率測(cè)量范圍 | 毫巴x升x秒-1 | 1 x 10-12 to 1 x 10-1 | |||
測(cè)量范圍 | 12 decades | ||||
入口高壓力 | 毫巴(托) | 15 (11 25) | |||
抽真空期間的抽速（氦） | |||||
50 Hz立方米x小時(shí)-1(立方英尺/分鐘) 60 Hz立方米x小時(shí)-1(立方英尺/分鐘) | 2 5 (1 5) 3 0 (1 8) | ||||
入口抽速（氦） “粗檢”模式“精檢”模式 | 升/秒 升/秒 | 0 4 > 3 1 | |||
漏率信號(hào)時(shí)間常數(shù)（達(dá)63%終值） | 秒 | < 1 | |||
檢漏儀啟動(dòng)時(shí)間 | 分鐘 | < 2 | |||
質(zhì)譜儀 | 180°扇形磁場(chǎng) | ||||
離子源 | 2個(gè)燈絲：銥/氧化釔 | ||||
可檢測(cè)的質(zhì)量數(shù) | 2, 3 和4 | ||||
入口 | DN | 25 ISO-KF | |||
尺寸（寬x高x深） | 495 x 457 x 314 | ||||
重量 | 千克(磅) | 40 0 (88 2) | |||
語(yǔ)言 | 英語(yǔ)、德語(yǔ)、中文、日語(yǔ)（片假名）、俄語(yǔ)、法語(yǔ)、 | ||||
意大利語(yǔ)、西班牙語(yǔ)、波蘭語(yǔ)和朝鮮語(yǔ) | |||||
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訂貨信息 | PHOENIX L300i | |||
產(chǎn)品號(hào) | ||||
PHOENIX L300i | ||||
歐洲版 | ||||
230 V, 50/60 赫茲帶集成標(biāo)準(zhǔn)漏孔TL 7 | 250000V01 | |||
美國(guó)版 | ||||
115 V, 60 Hz, mbar readout,帶集成校準(zhǔn)漏孔TL 7 | 251000V01 | |||
日本版 | ||||
100 V, 50/60 Hz, mbar readout,帶集成校準(zhǔn)漏孔TL 7 | 251100V01 | |||
iPad 有線遙控單元（包括L300i App和連接線） | 252005V02 | |||
iPad 無(wú)線遙控單元（包括L300i App和無(wú)線模塊） | 252005V01 | |||
iPad固定器PHOENIX L300i | 252007V01 | |||
條形碼掃描儀iPad PHOENIX L300i | 252008V01 | |||
iPad臺(tái)架 | 252009V01 | |||
iPad鎖 | 252010V01 | |||
分流系統(tǒng)(115-230 V) | 140 20 | |||
PC軟件LeakWare | 140 90 | |||
其他附件參見(jiàn)“PHOENIX L300i、 | ||||
PHOENIX L300i DRY和PHOENIX L300i MODUL附件”部分。 | ||||
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