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  • SR100 薄膜分析儀

SR100 薄膜分析儀

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地北京市
  • 更新時間2023-07-21
  • 廠商性質經銷商
  • 所在地區北京市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量119
  • 人氣值625
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北京燕京電子有限公司成立于1988年,注冊資金2124萬元,由原電子工業部直屬在京的企業組建,隸屬于北京電子控股有限責任公司。公司位于北京城東北部酒仙橋的中關村電子城科技園區內,建筑面積2000多平方米,地理位置*,交通便利。自成立22年以來,燕京電子一貫秉承“以科技為先導,以服務為根本”的宗旨,為科研院所和生產企業提供*的儀器設備及解決方案,以其良好的企業形象和品牌價值,發展成了業內*的儀器設備服務商之一。


  燕京電子一直以“科技*”的姿態,將*的儀器、技術和解決方案引入國內,并依托于公司強大的技術力量,為客戶創造價值,幫助客戶成功。目前,公司已經形成多個產品系列,如電子測量儀器、表面物性分析儀器、生命科學及化學分析儀器、等離子表面處理設備等;產品應用領域包括物理學、光學、材料科學、納米技術、環境及食品安全等領域;客戶覆蓋了全國各科研機構、大學實驗室和企業研發機構,與他們建立了*的合作關系。

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圖片  簡介  SR系列薄膜分析產品來自美國AST公司,其可以實現薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測量,同樣對于材料NK參數也可以實現測量,為人們針對薄膜進行分析提供了便利
SR100 薄膜分析儀 產品詳情

圖片


  

 

簡介


  SR系列薄膜分析產品來自美國AST公司,其可以實現薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測量,同樣對于材料NK參數也可以實現測量,為人們針對薄膜進行分析提供了便利。

 

  產品詳情:

基本功能

1,測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數
2,實現薄膜均勻性檢測
3,實現反射、投射以及顏色測量

產品特點

  強大的數據運算處理功能及材料NK數據庫;
  簡便、易行的可視化測試界面,可根據用戶需求設置不同的參數;
  快捷、準確、穩定的參數測試;
  支持多功能配件集成以及定制;
  支持不同水平的用戶控制模式;
  支持多功能模擬計算等等。

系統配置

  型號:SR100R
  探測器: 2048像素的CCD線陣列
  光源:高穩定性、長壽命的鹵素燈
  光傳送方式:光纖
  臺架平臺:特殊處理鋁合金,能夠很容易的調節樣品重量,200mmx200mm的大小
  軟件: TFProbe 2.2版本的軟件
  通訊接口:USB的通訊接口與計算機相連
  測量類型:薄膜厚度,反射光譜,折射率
  電腦硬件要求:P3以上、zui低50 MB的空間
  電源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A
  保修:一年的整機及零備件保修

 

規格尺寸


  波長范圍:250nm到1100 nm
  光斑尺寸:500μm至5mm
  樣品尺寸:200mmx200mm或直徑為200mm
  基板尺寸:zui多可至50毫米厚
  測量厚度范圍*:2nm~50μm
  測量時間:zui快2毫秒
  精度*:優于0.5%(通過使用相同的光學常數,讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較)
  重復性誤差*:小于1 ?

可選配件項

  用于傳遞和吸收測量的傳動夾具(SR100RT) )
   zui低可測量直徑為5μm大小的微光斑(MSP100)
  在多個位置下,多個通道用于同時測量 (SR100xX)
  在超過200或300毫米晶片上所進行的統一測繪(SRM100-200/300)

 

應用系統


  主要應用于透光薄膜分析類領域:

  1 玻璃鍍膜領域(LowE、太陽能…)

  2 半導體制造(PR,Oxide, Nitride…)

  3 液晶顯示(ITO,PR,Cell gap...)

  4 醫學,生物薄膜及材料領域等

  5 油墨,礦物學,顏料,調色劑等

  6 醫藥,中間設備

  7 光學涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

  8 半導體化合物

  9 在MEMS/MOEMS系統上的功能性薄膜

  10 非晶體,納米材料和結晶硅

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