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SR500 薄膜分析儀

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地北京市
  • 更新時(shí)間2023-07-15
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)北京市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量119
  • 人氣值641
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北京燕京電子有限公司成立于1988年,注冊(cè)資金2124萬(wàn)元,由原電子工業(yè)部直屬在京的企業(yè)組建,隸屬于北京電子控股有限責(zé)任公司。公司位于北京城東北部酒仙橋的中關(guān)村電子城科技園區(qū)內(nèi),建筑面積2000多平方米,地理位置*,交通便利。自成立22年以來(lái),燕京電子一貫秉承“以科技為先導(dǎo),以服務(wù)為根本”的宗旨,為科研院所和生產(chǎn)企業(yè)提供*的儀器設(shè)備及解決方案,以其良好的企業(yè)形象和品牌價(jià)值,發(fā)展成了業(yè)內(nèi)*的儀器設(shè)備服務(wù)商之一。


  燕京電子一直以“科技*”的姿態(tài),將*的儀器、技術(shù)和解決方案引入國(guó)內(nèi),并依托于公司強(qiáng)大的技術(shù)力量,為客戶創(chuàng)造價(jià)值,幫助客戶成功。目前,公司已經(jīng)形成多個(gè)產(chǎn)品系列,如電子測(cè)量?jī)x器、表面物性分析儀器、生命科學(xué)及化學(xué)分析儀器、等離子表面處理設(shè)備等;產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域包括物理學(xué)、光學(xué)、材料科學(xué)、納米技術(shù)、環(huán)境及食品安全等領(lǐng)域;客戶覆蓋了全國(guó)各科研機(jī)構(gòu)、大學(xué)實(shí)驗(yàn)室和企業(yè)研發(fā)機(jī)構(gòu),與他們建立了*的合作關(guān)系。

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圖片簡(jiǎn)介SR系列薄膜分析產(chǎn)品來(lái)自美國(guó)AST公司,其可以實(shí)現(xiàn)薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測(cè)量,同樣對(duì)于材料NK參數(shù)也可以實(shí)現(xiàn)測(cè)量,為人們針對(duì)薄膜進(jìn)行分析提供了便利
SR500 薄膜分析儀 產(chǎn)品詳情

圖片


簡(jiǎn)介


SR系列薄膜分析產(chǎn)品來(lái)自美國(guó)AST公司,其可以實(shí)現(xiàn)薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測(cè)量,同樣對(duì)于材料NK參數(shù)也可以實(shí)現(xiàn)測(cè)量,為人們針對(duì)薄膜進(jìn)行分析提供了便利。

 

產(chǎn)品詳情


 


基本功能

1,測(cè)試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數(shù)
2,實(shí)現(xiàn)薄膜均勻性檢測(cè)
3,實(shí)現(xiàn)反射、投射以及顏色測(cè)量

產(chǎn)品特點(diǎn)

  強(qiáng)大的數(shù)據(jù)運(yùn)算處理功能及材料NK數(shù)據(jù)庫(kù);
  簡(jiǎn)便、易行的可視化測(cè)試界面,可根據(jù)用戶需求設(shè)置不同的參數(shù);
  快捷、準(zhǔn)確、穩(wěn)定的參數(shù)測(cè)試;
  支持多功能配件集成以及定制;
  支持不同水平的用戶控制模式;
  支持多功能模擬計(jì)算等等。

系統(tǒng)配置

  型號(hào):SR500R
  探測(cè)器: 2048像素的CCD線陣列
  光源:高穩(wěn)定性、長(zhǎng)壽命的鹵素?zé)?br>   光傳送方式:光纖
  臺(tái)架平臺(tái):特殊處理鋁合金,能夠很容易的調(diào)節(jié)樣品重量,200mmx200mm的大小
  軟件: 
TFProbe 2.2版本的軟件
  通訊接口:USB的通訊接口與計(jì)算機(jī)相連
  測(cè)量類型:薄膜厚度,反射光譜,折射率
  電腦硬件要求:P3以上、50 MB的以上空間
  電源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A
  保修:一年的整機(jī)及零備件保修

 

規(guī)格參數(shù)



  波長(zhǎng)范圍:250nm到1700 nm
  光斑尺寸:500μm至5mm
  樣品尺寸:200mmx200mm或直徑為200mm
  基板尺寸:可至50毫米厚
  測(cè)量厚度范圍*:2nm~150μm
  測(cè)量時(shí)間:zui快2毫秒
  精度*:優(yōu)于0.5%(通過(guò)使用相同的光學(xué)常數(shù),讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較)
  重復(fù)性誤差*:小于1 ?

可選配件項(xiàng)

  用于傳遞和吸收測(cè)量的傳動(dòng)夾具(SR500RT) )
   zui低可測(cè)量直徑為5μm大小的微光斑(MSP500)
  在多個(gè)位置下,多個(gè)通道用于同時(shí)測(cè)量 (SR500xX)
  在超過(guò)200或300毫米晶片上所進(jìn)行的統(tǒng)一測(cè)繪(SRM500-200/300)

 

應(yīng)用系統(tǒng)


主要應(yīng)用于透光薄膜分析類領(lǐng)域:
1  玻璃鍍膜領(lǐng)域(LowE、太陽(yáng)能…)
2  半導(dǎo)體制造(PR,Oxide, Nitride…)
3  液晶顯示(ITO,PR,Cell gap...)
4  醫(yī)學(xué),生物薄膜及材料領(lǐng)域等
5  油墨,礦物學(xué),顏料,調(diào)色劑等
6  醫(yī)藥,中間設(shè)備
7  光學(xué)涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
8  半導(dǎo)體化合物
9  在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜
l0  非晶體,nm材料和結(jié)晶硅

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