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MSP100 薄膜分析儀

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北京燕京電子有限公司成立于1988年,注冊資金2124萬元,由原電子工業(yè)部直屬在京的企業(yè)組建,隸屬于北京電子控股有限責(zé)任公司。公司位于北京城東北部酒仙橋的中關(guān)村電子城科技園區(qū)內(nèi),建筑面積2000多平方米,地理位置*,交通便利。自成立22年以來,燕京電子一貫秉承“以科技為先導(dǎo),以服務(wù)為根本”的宗旨,為科研院所和生產(chǎn)企業(yè)提供*的儀器設(shè)備及解決方案,以其良好的企業(yè)形象和品牌價(jià)值,發(fā)展成了業(yè)內(nèi)*的儀器設(shè)備服務(wù)商之一。


  燕京電子一直以“科技*”的姿態(tài),將*的儀器、技術(shù)和解決方案引入國內(nèi),并依托于公司強(qiáng)大的技術(shù)力量,為客戶創(chuàng)造價(jià)值,幫助客戶成功。目前,公司已經(jīng)形成多個產(chǎn)品系列,如電子測量儀器、表面物性分析儀器、生命科學(xué)及化學(xué)分析儀器、等離子表面處理設(shè)備等;產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域包括物理學(xué)、光學(xué)、材料科學(xué)、納米技術(shù)、環(huán)境及食品安全等領(lǐng)域;客戶覆蓋了全國各科研機(jī)構(gòu)、大學(xué)實(shí)驗(yàn)室和企業(yè)研發(fā)機(jī)構(gòu),與他們建立了*的合作關(guān)系。

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圖片  簡介  MSP系列薄膜分析產(chǎn)品來自美國AST公司,其可以實(shí)現(xiàn)微小區(qū)域薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測量,同樣對于材料NK參數(shù)也可以實(shí)現(xiàn)測量,為人們針對薄膜微小區(qū)域進(jìn)行分析提供了便利
MSP100 薄膜分析儀 產(chǎn)品詳情

圖片


  

 

簡介


  MSP系列薄膜分析產(chǎn)品來自美國AST公司,其可以實(shí)現(xiàn)微小區(qū)域薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測量,同樣對于材料NK參數(shù)也可以實(shí)現(xiàn)測量,為人們針對薄膜微小區(qū)域進(jìn)行分析提供了便利。

基本功能

1,針對微小區(qū)域測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數(shù)的測量
2,實(shí)現(xiàn)薄膜色度、反射率、透射率的檢測

產(chǎn)品特點(diǎn)

l  強(qiáng)大的數(shù)據(jù)運(yùn)算處理功能及材料NK數(shù)據(jù)庫;
1  簡便、易行的可視化測試界面,可根據(jù)用戶需求設(shè)置不同的參數(shù);
2  實(shí)現(xiàn)微小區(qū)域薄膜分析研究;
3  快捷、準(zhǔn)確、穩(wěn)定的參數(shù)測試;
4  支持多功能配件集成以及定制;
5  支持不同水平的用戶控制模式;
6  支持多功能模擬計(jì)算等等。

系統(tǒng)配置

型號:MSP100RTM
探測器:2048像素的CCD陣列
光源:高功率的深紫外-可見光光源
光傳送方式:光纖      
自動的臺架平臺:特殊處理的鋁合金操作平臺,能夠在5”×3”的距離上移動,并且有著1μm的分辨率,程序控制
物鏡:4×,10×,15×(DUV),50×
通訊接口:USB的通訊接口與計(jì)算機(jī)相連
測量類型:反射/透射光譜、薄膜厚度/反射光譜和特性參數(shù)
計(jì)算機(jī)硬件:英特兒酷睿2雙核處理器,19”LCD顯示器
電源:110–240V AC/50-60Hz,3A
尺寸:16’x16’x18’ (操作桌面設(shè)置)
重量:120磅總重
保修:一年的整機(jī)及零備件保修


l  波長可擴(kuò)展到遠(yuǎn)深紫外光或者近紅外光范圍
2  可根據(jù)客戶的特殊需求來定制
3  在動態(tài)實(shí)驗(yàn)研究時(shí),可根據(jù)需要對平臺進(jìn)行加熱或致冷
4  可選擇的平臺尺寸zui多可測量300mm大小尺寸的樣品
5  更高的波長范圍的分辨率可低至0.1nm
6  各種濾光片可供各種特殊的需求
7  可添加應(yīng)用于熒光測量的附件
8  可添加用于拉曼應(yīng)用的附件
9  可添加用于偏光應(yīng)用的附件

 

規(guī)格參數(shù)


  波長范圍:250nm到1000 nm

  波長分辨率: 1nm

  光斑尺寸:100μm (4x), 40μm (10x), 30μm (15x), 8μm (50x)

  基片尺寸:zui多可至20mm厚

  測量厚度范圍: 20? 到25 μm

  測量時(shí)間:zui快2毫秒

  精度*:優(yōu)于0.5%(通過使用相同的光學(xué)常數(shù),讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較)

  重復(fù)性誤差*:小于2 ?

 

應(yīng)用系統(tǒng)


  主要應(yīng)用于透光薄膜分析類領(lǐng)域:

  1 玻璃鍍膜領(lǐng)域(LowE、太陽能…)

  2 半導(dǎo)體制造(PR,Oxide, Nitride…)

  3 液晶顯示(ITO,PR,Cell gap...)

  4 醫(yī)學(xué),生物薄膜及材料領(lǐng)域等

  5 油墨,礦物學(xué),顏料,調(diào)色劑等

  6 醫(yī)藥,中間設(shè)備

  7 光學(xué)涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

  8 半導(dǎo)體化合物

  9 在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜

  l0 非晶體,納米材料和結(jié)晶硅

 

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