ASML 二手翻新現(xiàn)貨ARF光刻機(jī) AT:1100是一款步進(jìn)式ARF掃描儀,可在300mm的晶圓上進(jìn)行100nm體積的生產(chǎn)。
ASML雙級ARF光刻機(jī)AT:1100特點(diǎn):
無線PDAs可鏈接企業(yè)數(shù)據(jù)庫
可實(shí)時翻譯語言
3D高清視圖成像
具有處理復(fù)雜計(jì)算的能力
動態(tài)事件模擬能力
雙晶片階段特點(diǎn):
70nm動態(tài)平衡量;
全三維晶圓映射獨(dú)立位置計(jì)算;
雙晶片級并行操作320mm掃描速度
鏡頭更新迭代