團隊介紹
ASML和NIKON光刻機的翻新改造、安裝調試及維護的核心技術能力。中國完成過ArF, KrF, I Line, G Line全部工程案例的團隊。
針對12英寸及以下的不同尺寸(包括硅、碳化硅、氮化鎵、藍寶石等)、不同掩模版尺寸的要求,可實現自主設計、加工制造、集成調整的改造能力。
能夠進行包括光學系統在內的全面翻新、調試、測試,具備完整的運行保障能力,和備品備件的供應。
針對不同產品(如MEMS、MICROLED、DMOS、CMOS等),具備的工藝人才和技術基礎,能夠針對不同的產品特性進行設備選型、技術匹配及工藝試驗。