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日立Hitachi二手電鏡CD-SEM CS4800

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2023-04-15
  • 廠商性質經銷商
  • 所在地區青島市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量441
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公司主營實驗室分析檢測儀器設備,以實驗室整體建設為發展方向。公司目前涉及電子電器、醫藥生物、石油化工、食品、機械、新材料、環境、科研高校等諸多領域。聯合山東醫藥化工設計院,美國安捷倫、美國熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個***重點實驗室從實驗室布局設計出圖、基礎設施建設、儀器設備供應、方法開發建立、后期運營管理,形成完整的專業實驗室建設體系,達到一站式服務,為眾多行業客戶提供更為完善的整體解決方案。
公司主營產品分為四大類,光譜儀、色譜儀、質譜儀和環境在線檢測。
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CS4800提供高質量的SEM成像、改進的測量精度以及快速、自動化的操作,旨在提高現有生產線的生產力和運營效率,并提高客戶的過程控制能力
日立Hitachi二手電鏡CD-SEM CS4800 產品詳情

CS4800 提供高質量的 SEM 成像、改進的測量精度以及快速、自動化的操作,旨在提高現有生產線的生產力和運營效率,并提高客戶的過程控制能力。此外,CS4800 可以配置為處理兩種不同的晶圓尺寸,客戶可以將其切換到新的晶圓傳輸系統。日立分析儀器計劃擴大對碳化硅 (SiC) 和氮化鎵 (GaN) 等各種晶圓材料的支持,以滿足客戶對新型半導體或電子設備的多樣化需求。

Hitachi二手電鏡CD-SEM CS4800

隨著 CS4800 的開發,日立分析儀器將為廣泛的 4、6 和 8 英寸晶圓廠提供可持續的 CD 測量解決方案,并將支持物聯網應用、可穿戴設備和下一代的新興技術設備功率器件。

主要特點:

  • 工具占用空間和 GUI *4旨在輕松更換現有工具。
  • 提供經過驗證的高精度測量和的計量應用。
  • 自動光軸對準將減少操作員錯誤。
  • 具有強大模式匹配的高吞吐量、自動化配方測量操作。
  • 提供多種晶圓尺寸選項。

主要參數:

測量精度 1 nm (3σ)(使用日立標準晶圓)
晶圓尺寸 直徑 100、150 和 200 毫米
自動裝載機 2個端口
設備尺寸(主體)以毫米為單位 1180(W) × 2500(D) × 1990(H)mm
Hitachi二手電鏡CD-SEM CS4800

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