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  • ASML二手KRF光刻機PAS5500/800現貨供應

ASML二手KRF光刻機PAS5500/800現貨供應

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2023-04-14
  • 廠商性質經銷商
  • 所在地區青島市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量441
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公司主營實驗室分析檢測儀器設備,以實驗室整體建設為發展方向。公司目前涉及電子電器、醫藥生物、石油化工、食品、機械、新材料、環境、科研高校等諸多領域。聯合山東醫藥化工設計院,美國安捷倫、美國熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個***重點實驗室從實驗室布局設計出圖、基礎設施建設、儀器設備供應、方法開發建立、后期運營管理,形成完整的專業實驗室建設體系,達到一站式服務,為眾多行業客戶提供更為完善的整體解決方案。
公司主營產品分為四大類,光譜儀、色譜儀、質譜儀和環境在線檢測。
能量色散X熒光光譜儀(EDX)、波長色散X熒光光譜儀(WDX)、等離子體發射光譜儀(ICP)
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ASMLKRF光刻機PAS5500/800提供0.80數值孔徑(NA)
ASML二手KRF光刻機PAS5500/800現貨供應 產品詳情

ASML KRF光刻機PAS5500/800提供0.80 數值孔徑 (NA)。該系統的分辨率為 120 納米,將用于批量生產 256 MB DRAM 和其他*的存儲設備。

“PAS 5500/800 將使這些的制造商能夠將其對成熟 KrF 技術的投資擴展到新一代內存產品,”ASML 銷售執行副總裁 Dave Chavoustie 說。“通過展示我們擴展 PAS 5500 平臺和提供新工具的能力,我們的系統繼續提供非常高的生產力和低擁有成本。”

PAS 5500/800 于 2001 年 1 月發布,其吞吐量規格為每小時 115 200 毫米晶圓。該系統專為當今 IC 的大批量處理以及下一代邏輯、ASIC和*存儲設備的研發和試生產而設計。PAS 5500/800 將 Carl Zeiss StarLith800 0.8 NA、4X 縮小鏡頭的成像能力與 AERIAL II 照明技術相結合,可在關鍵尺寸和電路設計特征范圍內優化工藝范圍。該系統配備了 ASML的 ATHENA 晶圓對準系統和新開發的掩模版藍色對準,允許光化波長掩模版對準,使單機重疊精度低于20納米。新的液位傳感器提高了聚焦精度,以增強過程控制和產量,特別是對于邊緣模具。客戶可以從三大的 20 瓦 KrF 激光器供應商中進行選擇。ASML 對激光源的實施包括可變激光頻率控制,結合通過照明和投影光學器件的高光傳輸,確保更高的生產率和更低的運營成本。

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