三維磁場探針臺
產品概述：
錦正茂三維磁場探針臺北京錦正茂科技有限公司提供的一維 、二維 、三維磁場探針臺，采用無磁材料制成，一維 、二維 、三維三對亥姆霍茲線圈正交放置，產生空間一維 、二維 、三維磁場。線圈可采用風冷（磁場較小）也可采用水冷結構（磁場較大），并且配備有線圈過熱保護裝置。和錦正茂生產的高精度雙極性直流電源配合使用可以長時間穩定工作。通過軟件或者電源控制面板上按鍵控制每一維上的輸出電流，可以產生空間任意方向的矢量磁場。探針臺配備有可移動樣品臺，可以實現水平方向二維移動和樣品臺360度轉動，便于樣品的安裝和測試。探針臺具有四個高精度探針臂，同時配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號，用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等。
應用范圍：錦正茂三維磁場探針臺 廣泛應用于半導體工業、MEMS 、超導、電子學、鐵電子學、物理學、材料學和生物醫學等領域。三維探針臺和錦正茂自主研發的高精度雙極性電源相匹配，通過真正的雙極性電源輸出，實現了空間任意方向上的矢量場合成。
可選附件：
t 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線
t CCD或C-MOS視頻成像裝裝置
t Chuck運動裝置
t 電磁鐵系統/超導磁鐵系統
t 1Mpa正壓系統升級
t 超高溫升級選件
t 超高真空升級選件
t 各類探針夾具
t 屏蔽箱
t 防振桌
t 轉接頭
t 真空泵
技術指標：
| 三維磁場探針臺 | |||
| 型號 | T8-500-3 | T8-300-3 | T8-100-3 |
| 材質 | 所選材料均為無磁材質 | ||
| 磁場范圍 | 500Gs | 300Gs | 100GS |
| 線圈材質 | 耐高溫漆包線 | ||
| 磁場均勻性 | 中心區50毫米球體內1% | ||
| 電源穩定性 | 三臺高精度直流電源 50ppm可選10ppm | ||
| 磁場分辨率 | 0.05 mT | ||
| 角度分辨率 | 0.02° | ||
| 樣品固定方式 | 吸盤或者壓片 | ||
| 樣品臺直徑 | 50mm可定制 | ||
| 顯微鏡 | X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm，可選加載激光 | ||
| 放大倍數 | 16~100X/20~4000X | ||
| 探針臂數量 | 2、4可選 | ||
| 探針臂行程 | 25mm-25mm-12mm可更換 | ||
| 探針臂移動精度 | 10μm /2μm/1μm/0.7μm可選 | ||
| 探針長度 | 38mm | ||
| 探針直徑 | 0.51mm | ||
| 針尖直徑 | 10μm/5μm/1μm | ||
| 探針材料 | 鎢/鈹銅/GGB | ||
| 漏電精度 | 100fA | ||
| 顯微鏡 | X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm，可選加載激光 | ||
