三維磁場探針臺
三維磁場探針臺產(chǎn)品概述：
北京錦正茂科技有限公司提供的一維 、二維 、三維磁場探針臺，采用無磁材料制成，一維 、二維 、三維三對亥姆霍茲線圈正交放置，產(chǎn)生空間一維 、二維 、三維磁場。線圈可采用風(fēng)冷（磁場較小）也可采用水冷結(jié)構(gòu)（磁場較大），并且配備有線圈過熱保護裝置。和錦正茂生產(chǎn)的高精度雙極性直流電源配合使用可以長時間穩(wěn)定工作。通過軟件或者電源控制面板上按鍵控制每一維上的輸出電流，可以產(chǎn)生空間任意方向的矢量磁場。探針臺配備有可移動樣品臺，可以實現(xiàn)水平方向二維移動和樣品臺360度轉(zhuǎn)動，便于樣品的安裝和測試。探針臺具有四個高精度探針臂，同時配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號，用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等。
應(yīng)用范圍：
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、MEMS 、超導(dǎo)、電子學(xué)、鐵電子學(xué)、物理學(xué)、材料學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。三維探針臺和錦正茂自主研發(fā)的高精度雙極性電源相匹配，通過真正的雙極性電源輸出，實現(xiàn)了空間任意方向上的矢量場合成。
t 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線 t CCD或C-MOS視頻成像裝裝置 t Chuck運動裝置 t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng) t 1Mpa正壓系統(tǒng)升級 t 超高溫升級選件 t 超高真空升級選件 t 各類探針夾具 t 屏蔽箱 t 防振桌 t 轉(zhuǎn)接頭 t *真空泵 技術(shù)指標(biāo)： 三維磁場探針臺 型號 T8-500-3 T8-300-3 T8-100-3 材質(zhì) 所選材料均為無磁材質(zhì) 磁場范圍 500Gs 300Gs 100GS 線圈材質(zhì) 耐高溫漆包線 磁場均勻性 中心區(qū)50毫米球體內(nèi)1% 電源穩(wěn)定性 三臺高精度直流電源 50ppm可選10ppm 磁場分辨率 0.05 mT 角度分辨率 0.02° 樣品固定方式 吸盤或者壓片 樣品臺直徑 50mm可定制 顯微鏡 X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm，可選加載激光 放大倍數(shù) 16~100X/20~4000X 探針臂數(shù)量 2、4可選 探針臂行程 25mm-25mm-12mm可更換 探針臂移動精度 10μm /2μm/1μm/0.7μm可選 探針長度 38mm 探針直徑 0.51mm 針尖直徑 10μm/5μm/1μm 探針材料 鎢/鈹銅/GGB 漏電精度 100fA 顯微鏡 X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm，可選加載激光可選附件：
