技術參數:
X1 軸
測量范圍: 100mm
分辨率: 0.00625μm
檢測方法: 激光全息光柵尺
驅動速度: 40mm/s (CNC 模式)
0 - 40mm/s (操縱桿控制模式)
測量速度: 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度)
0.02 - 2mm/s (形狀／輪廓)
移動方向: 向前／向后
直線度: (0.05+0.0003L)μm
指示精度 (20° C): ±(0.16+0.001L)μm
L 為驅動長度(mm)

Z1 軸
測量范圍: 12mm
分辨率: 0.001μm
測針上／下運作: 弧形運動
檢測方法: 激光全息光柵尺
指示精度 (20° C): ±(0.07+I0.02HI)μm
H 為測量高度(mm)
測力: 4mN
跟蹤角度: 向上60° 、 向下60°
(取決于表面粗糙度)
測針針尖: 半徑: 5μm, 角度： 40°、鉆石
(球型測針) (半徑: 0.25mm, 藍寶石)
測針方向: 向下
Z2 軸(立柱)
測量范圍: 300mm
分辨率: 0.05μm
檢測方法: 反射型線性編碼器
驅動速度: 200mm/s (CNC 模式)
0 - 50mm/s (操縱桿控制模式)
基座尺寸(W x D): 600 x 550mm
基座材料: 花崗巖
尺寸 (W x D x H): 600 x 570 x 992mm
重量: 190kg

本機內置Startup 系統 (重新定位檢測系統)：
意外震動發生或機器被重新定位時，將停機。
初始安裝本機、重新定位本機前，可以提前聯系我司咨詢。

*產品信息僅供參考，型號和技術參數生產廠家有可能隨時更改