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EVG540-晶圓鍵合機-自動化系統

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2022-08-17
  • 廠商性質其他
  • 所在地區上海
  • 實名認證已認證
  • 產品數量100
  • 人氣值758
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EVG540-晶圓鍵合機-自動化系統 產品詳情

應用:全自動晶圓鍵合系統(晶圓鍵合),適用于蕞大300 mm的基板

一、簡介

EVG540自動化晶圓鍵合系統晶圓鍵合是一種自動化的單腔室生產鍵合機,設計用于中試線生產以及用于晶圓級封裝,3D互連和MEMS應用的大批量生產的研發。EVG540基于模塊化設計,為我們未來的晶圓鍵合工藝從研發到大規模生產的全集成生產鍵合系統過渡提供了可靠的解決方案。

晶圓鍵合機鍵合結果

圖1 晶圓鍵合機鍵合結果

二、特征

  • 單室鍵合機晶圓鍵合,蕞大基板尺寸為300 mm
  • 與兼容的SmartView ®和MBA300
  • 自動處理多達四個鍵合卡盤
  • 符合高安全標準
三、技術數據
  • 晶圓鍵合蕞大加熱器尺寸300毫米
  • 裝載室使用2軸機器人
  • 蕞多2個鍵合室


關鍵詞:標準 加熱器
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