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  • ComBond-自動化的高真空晶圓鍵合系統(晶圓鍵合機)

ComBond-自動化的高真空晶圓鍵合系統(晶圓鍵合機)

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  • 型號
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  • 所在地上海
  • 更新時間2022-08-17
  • 廠商性質其他
  • 所在地區上海
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應用:高真空晶圓鍵合平臺促進“任何物上的任何東西”的共價鍵合一、簡介EVGComBond高真空晶圓鍵合平臺(晶圓鍵合機)標志著EVG的晶圓鍵合設備和技術產品組合中的一個新里程碑,可滿足市場對更復雜的集成工藝的需求
ComBond-自動化的高真空晶圓鍵合系統(晶圓鍵合機) 產品詳情

應用:高真空晶圓鍵合平臺促進“任何物上的任何東西”的共價鍵合

一、簡介

EVG ComBond高真空晶圓鍵合平臺晶圓鍵合機標志著EVG的晶圓鍵合設備和技術產品組合中的一個新里程碑,可滿足市場對更復雜的集成工藝的需求。EVG ComBond支持的應用領域包括*的工程襯底,堆疊的太陽能電池和功率器件到MEMS封裝,高性能邏輯和“beyond CMOS”器件。EVG ComBond系統的模塊化集群設計提供了高度靈活的平臺,可以針對研發和高通量,大批量制造環境中的各種苛刻的客戶需求量身定制。EVG ComBond晶圓鍵合機促進了具有不同晶格常數和熱膨脹系數(CTE)的異質材料的鍵合,并通過其的氧化物去除工藝促進了導電鍵界面的形成。EVG ComBond晶圓鍵合機高真空技術還可以實現鋁等金屬的低溫鍵合,這些金屬在周圍環境中會迅速重新氧化。對于所有材料組合,都可以實現無空隙和無顆粒的鍵合界面以及出色的鍵合強度。

二、特征

  • 高真空,對準,共價鍵合
  • 在高真空環境(<5·10 -8 mbar)中進行處理
  • 原位亞微米面對面對準精度
  • 高真空MEMS和光學器件封裝原位表面和原生氧化物去除
  • 優異的表面性能
  • 導電鍵合
  • 室溫過程
  • 多種材料組合,包括金屬(鋁)
  • 無應力鍵合界面
  • 高鍵合強度
  • 用于HVM和R&D的模塊化系統
  • 多達六個模塊的靈活配置
  • 基板尺寸為200毫米
  • *自動化

三、技術數據

  • 真空度

處理:<7E-8 mbar

處理:<5E-8毫巴

  • 集群配置

處理模塊:最小3個,6個

加載:手動,卡帶,EFEM

  • 可選的過程模塊:

晶圓鍵合機鍵合模塊

ComBond ®激活模塊(CAM)

晶圓鍵合機烘烤模塊

真空對準模塊(VAM)

  • 晶圓直徑高達200毫米


關鍵詞:CAM
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