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  • 美國蝕刻和剝離系統(tǒng) CESx124

美國蝕刻和剝離系統(tǒng) CESx124

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地深圳市
  • 更新時間2022-08-01
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)深圳市
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量230
  • 人氣值813
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同類產(chǎn)品
深圳市科時達電子科技有限公司創(chuàng)建于2011年,經(jīng)過十年的發(fā)展,已經(jīng)成長為一家專注于電子材料、半導體儀器設備、醫(yī)療設備三大產(chǎn)品領(lǐng)域的,是一家集研發(fā)、制造、銷售為一體的企業(yè)。我們的主營業(yè)務涉及了研發(fā)銷售及加工電子材料及周邊產(chǎn)品;電子光電產(chǎn)品設備研發(fā)組裝及銷售,半導體儀器設備銷售;國內(nèi)貿(mào)易、貨物及技術(shù)進出口;醫(yī)療器械研發(fā)及銷售;醫(yī)用耗材及醫(yī)療用品的銷售等。科技創(chuàng)新是科時達公司的核心競爭力。我們擁有一支高度專業(yè)化的技術(shù)研發(fā)和管理團隊,建立了國內(nèi)的實驗室和光電研究中心,與多家科研機構(gòu)與大專院校開展“產(chǎn)、學、研”合作,成功開發(fā)出一系列具有高科技含量的市場產(chǎn)品,公司產(chǎn)品通國內(nèi)科研機構(gòu)的產(chǎn)品認證。同時,公司擁有電子信息領(lǐng)域相對完備的科技創(chuàng)新體系,在電子裝備、醫(yī)療設備、產(chǎn)業(yè)基礎、網(wǎng)絡安全等領(lǐng)域占據(jù)技術(shù)主導地位,肩負著支撐科技自立自強、推進國內(nèi)科技現(xiàn)代化、加快數(shù)字經(jīng)濟發(fā)展、服務社會民生的重要職責。聚焦“三大定位”主責,科時達公司按照“做優(yōu)電子裝備、做大儀器設備、做精產(chǎn)業(yè)基礎、做強研發(fā)銷售”的總體布局,持續(xù)優(yōu)化核心業(yè)務體系,推動企業(yè)在科技現(xiàn)代化建設、現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系建設的核心關(guān)鍵技術(shù)節(jié)點上“布點”,在產(chǎn)業(yè)鏈價值鏈創(chuàng)新鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)上“成線”,在關(guān)系國家、國民經(jīng)濟命脈和國計民生關(guān)鍵領(lǐng)域上“控面”。做強電子裝備,重點發(fā)展利用聲、光、電磁信號進行信息感知、傳輸、運用等的系統(tǒng)級裝備和產(chǎn)品,打造全域多維一體新一代電子裝備,不斷夯實在高校科研領(lǐng)域和高科枝企業(yè)的提供地位。做大儀器設備,重點發(fā)展半導體儀器基礎設施和醫(yī)療設備應用與整體解決方案,全面支撐基于網(wǎng)絡信息體系的聯(lián)合和全域能力提升、國家治理能力提升和數(shù)字化發(fā)展。做精產(chǎn)業(yè)基礎,重點打造形成電子基礎產(chǎn)品科研和生產(chǎn)的基礎支撐能力,以夯實產(chǎn)業(yè)鏈供應鏈自主可控能力為根本目標,推動以“科時達基因”為核心的銷售集群式發(fā)展。做強研發(fā)銷售,致力于電子產(chǎn)品的研發(fā)。科時達公司是一家,多年來公司研發(fā)團隊致力于電子材料、半導體儀器和醫(yī)療設備的研發(fā)。同時企業(yè)還致力于將產(chǎn)品做好國內(nèi)外市場銷售,在整體銷售模式中具備一套完整的銷售體系。以客戶需求為導向,以質(zhì)量求生存,科時達公司以超凡的品質(zhì)和優(yōu)良的服務,獲得國內(nèi)外市場的一致認可;公司營銷網(wǎng)絡覆蓋,產(chǎn)品世界各地,目前已經(jīng)成為國內(nèi)電子科技行業(yè)中重要的生產(chǎn)制造基地。
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這款蝕刻和清潔系統(tǒng)專為滿足當今晶圓、光掩模和基板的前沿應用的特殊工藝需求而設計。
美國蝕刻和剝離系統(tǒng) CESx124 產(chǎn)品詳情

這款蝕刻和清潔系統(tǒng)專為滿足當今晶圓、光掩模和基板的前沿應用的特殊工藝需求而設計。這高效蝕刻和清潔系統(tǒng)CESx124126128133理想選擇,可滿足不同大小尺寸的晶片、光掩模和襯底,不論是從小直徑還是非常大直徑CESx可以配置多種工藝分配選項,Megasonic噴嘴對DI H20或化學藥品的處理分配選項;用于化學制劑的低壓噴嘴;化學加熱器和DI-H20;用于表面攪拌以加快反應的刷子,和/DI H20等。


特點:

? 專為重要控制和安全而設計的系統(tǒng)。

? 多達9x9英寸/ 300mm直徑的基板兼容性。

? 主軸組件具有直流無刷伺服電機,可實現(xiàn)精確的速度控制和分度。

? 特氟龍涂層不銹鋼臂可調(diào)節(jié)臂速度和行進位置。

? 徑向排氣腔,用于層流,蓋子頂部有N2進料。

? DI-H20加熱器,用于清潔和干燥輔助。

? 過程中包含化學相容性材料PVDF或可選的PTFE

? 獨立式聚丙烯柜。

? 微處理器控制功能可以在存儲器中保留三十(30)步的配方,每個配方有三十(30)步。配方和步驟的數(shù)量均可根據(jù)要求擴展。

? 內(nèi)置安全聯(lián)鎖和雙重控制。

? 用聯(lián)鎖裝置沖洗整個工藝區(qū)域和基材的pH值,以禁止進入工藝區(qū)域并控制排放和主軸轉(zhuǎn)速直到安全。

? 按鈕蓋打開/關(guān)閉。

? 觸摸屏圖形用戶界面(GUI),易于編程和安全鎖定,并帶有屏幕錯誤報告。

? 用于化學和房屋排水的排水分流閥。

? 設計符合SEMI S2 / S8準則。


技術(shù)參數(shù):

? 產(chǎn)品:蝕刻和剝離系統(tǒng)

? 型號:CESx124

? 可用機械臂:4

? 基板尺寸:13英寸直徑

? 主軸速度:2500

? 配方:高達30

? 分配管路:12


主營產(chǎn)品:

Laurell勻膠機

Harrick等離子清洗機

Thetametrisis膜厚儀

Microxact探針臺

ALD原子層沉積系統(tǒng)

TRION反應離子刻蝕機

Uvitron紫外固化箱

NXQ紫外曝光光刻機

Novascan紫外臭氧清洗機

Nilt納米壓印機

Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加熱板

Annealsys高溫退火爐

Kinematic程序剪切儀

Laurell EDC系統(tǒng),濕站系統(tǒng)

Wabash/Carver自動壓片機


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