ASML二手KrF曝光機,光刻機現貨由青島佳鼎分析儀器有限公司提供,除此之外,我們的技術團隊還支隊對光刻機的技術改造和方案對接。
我們的優勢:
ASML和NIKON光刻機的翻新改造、安裝調試及維護的核心技術能力。國內完成過ArF, KrF, I Line, G Line全部光刻機工程案例的團隊。
針對12英寸及以下的不同尺寸(包括硅、碳化硅、氮化鎵、 藍寶石等)、不同掩模版尺寸的要求,可實現自主設計、 加工制造、集成調整的改造能力。
能夠進行包括光學系統在內的全面翻新、調試、測試, 具備完整的運行保障能力,和備品備件的供應。
針對不同產品(如MEMS、MICROLED、DMOS、CMOS 等),具備的工藝人才和技術基礎,能夠針對不同的 產品特性進行設備選型、技術匹配及工藝試驗。