RION/日本理音液體粒子計數器，可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計數器的使用是為了控制化學品中的粒子，如半導體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料，超純水和清洗用化學劑比如堿，有機溶劑和氫氟酸。另外，也可檢測化學機械拋光中大粒徑的研磨液，測試方法包括在線和離線測試。
特點優勢
技術參數
光源鐳射二極管(波長:780nm,額定輸出:40mW)
鐳射材料 KS-42B 人造石英PFA PTFE
KS-42BF 藍寶石PFA PTFE(可測氫氟酸)
流量 10ml/分鐘
粒徑范圍(5通道) ≥0.2µm,≥0.3µm,≥0.5µm,≥1µm,≥2µm標配
可選通道 1-10個通道,由控制器設定,設定范圍:0.2~2µm
粒子數量 1200顆/ml
電源 DC12V(由KE-40B1供應)
尺寸.重量 125×240×151mm,大約:3.2kg
應用范圍
