VLO HP 真空燒接爐
VLO HP是centrotherm VLO系列的一款高壓系統, 腔體壓力可達3bar。 在焊接工藝中過壓系統具有 正向壓力效果以減小空洞,像所有其他VLO系列一樣提 供*成熟的功能。
系統可以使用無鉛焊膏和焊片工藝而不需額外的助焊劑。 計算機與易操作的觸摸屏結合,便于軟件操作和程序 創建 。任何工藝參數 [溫度,壓力,氣體流量等] 均 可以設置并記錄。
典型應用場合
功率半導體
高級封裝
微電子混合組裝
光電封裝
氣密封裝
晶圓級封裝
UHB LED封裝
MEMS封裝
客戶效益
真空和高壓系統集成
工藝溫度可達450 °C
的溫度均勻性
加熱速率可達50 K/min
冷卻速率可達160 K/min
PLC安全系統
靈活性, 基于成熟的模塊化VLO裝配
技術指標
應用領域:研發&小批量生產
加熱板尺寸:430 x 252 mm2 [16.9 in. x 9.9 in.]
加熱板數量:1個加熱板
基板高度:110 - 183 mm [4.3 - 7.2 in.]
每個加熱板承重:7.5 kg [16.5 lbs.]
可用工藝氣體:H2 up to 100 %; N2/H2 95/5 %
電源:400 V / 30 A; 13 kWp*
冷卻水:15 l/min [3.96 G/min] @ 15 - 25 °C
加熱 / 冷卻速率:50 K /min | 160 K/min [氮氣過壓環境]
真空度:10-1 mbar [7.5 x 10-2 torr]
過壓:3 bar
工藝溫度:高達450 °C
設備重量:~440 kg [970 lbs.]
* 系統可根據不同國家的電源供應進行修改
選項
丙烷氣體,擴充安全技術
100% H2裝置,安全等級2級
6組熱偶用于表面溫度監控
95升腔體容量
基板高度可達183mm [7.2 in.]