| 機構 · 方式 | 多孔質靜壓空氣軸承 · 工作臺回轉式 |
|---|---|
| 半徑方向 回轉精度 | (0.02+0.0004H)um H:工作臺面上算起的高度(mm) |
| 測定徑 測定高度 | 368mm 外徑420mm, 內徑270mm |
| 積載重量/裝載徑 | 25kg/Φ450mm |
| 上下移動量 | 250mm (使用b觸針臂時） |
| 工作臺尺寸 | 160mm |
一、的one touch全姿勢調整傳感器：
利用長探針桿臂以及新開發“one touch”式傳感器holder可自由進入深穴、平面、傾斜面、內徑、外徑……等測定點。軟件具有提醒功能，可實現編程后一次性的測量樣品所有參數。另有防止探針落差過大卡針之保護機構。
二、R/Z軸自動停止裝置R/Z axis automatic stop function：
橫臂方向（半徑方向）或上下方向均有自動停止機能，利用伺服控制，可自動找出測定位置，幾乎無需手動微調整，操作性大幅上揚。
此方式，可從直線圖形上，任何位置直接之，使操作上更加方便，無需細微調整。
四、的多孔質靜壓空氣軸承系統
此方式，可從直線圖形上，任何位置直接之，使操作上更加方便，無需細微調整。
Kosaka的多孔質靜壓空氣軸承系統工作臺，由于特殊設計，有以下特點：
1、具高剛性高負荷能力，故對偏負荷以及外部震動有強力之抑制能力。
2、壓力分布性均勻、安定性的情況下，可得到高回轉精度。
3、空氣消耗量非常之少（為傳統的1/3），穩定度高并可達經濟之效果。
綜合以上三項特點，即是為了達到高精度，安定性之測量結果的堅強保證。
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