| 機構·方式 | 多孔質靜壓空氣軸承 · 工作臺回轉式 |
|---|---|
| 半徑方向 回轉精度 | (0.04+0.0005H)um （EC1850H） (0.02+0.0003H)um （EC3300H） H:工作臺面上算起的高度(mm) |
| 測定徑 | 內外徑都是Φ450mm |
| 積載質量 | 30kg |
| 上下移動量 | 400mm (使用b觸針臂時） |
全姿勢檢出器：
利用長探針桿臂以及新開發“one touch”式檢出器holder可自由進入深穴、平面、傾斜面……等測定點。另有防止探針落差過大之保護機構。
一，R/Z軸自動停止裝置：
檢出器半徑方向或上下方向，利用伺服控制，可自動找出測定位置，幾乎無需手動微調整，操作性大幅上揚。
此方式，可從直線圖形上，任何位置直接之，使操作上更加方便，無需細微調整。
三，多孔質靜壓空氣軸承系統：
Kosaka的多孔質靜壓空氣軸承系統工作臺，由于特殊設計，有以下特點：
1、具高剛性高負荷能力，故對偏負荷以及外部震動有強力之抑制能力。
2、壓力分布性均勻、安定性的情況下，可得到高回轉精度。
3，空氣消耗量非常之少（為傳統的1/3），穩定度高并可達經濟之效果。
有以上三特點，即是為了達到高精度，安定性之測量結果的堅強保證。
四，多孔質靜壓空氣軸承系統：
可連續測定128斷面，而進行自動測定。
