商品詳情
LEXT OLS4500納米檢測顯微鏡 產(chǎn)品介紹
LEXT OLS4500是一款集成了激光顯微鏡和探針掃描顯微鏡功能于一體的新型納米檢測顯微鏡，可以實(shí)現(xiàn)從50倍到高100萬倍的超大范圍的觀察和測量。您可以在光學(xué)顯微鏡模式、激光顯微鏡模式和探針顯微鏡模式之間自由切換，而不用擔(dān)心目標(biāo)丟失。
LEXT OLS4500納米檢測顯微鏡技術(shù)
光學(xué)顯微鏡的原理和特長 光學(xué)顯微鏡是從樣品上方照射可見光（波長約400 nm到800 nm），利用其反射光成像，能夠放大樣品數(shù)十倍到一千倍左右進(jìn)行觀察。光學(xué)顯微鏡的特長是可以真實(shí)觀察彩色樣品，還可以切換觀察方法，強(qiáng)調(diào)樣品表面的凹凸，利用物質(zhì)的特性（偏光性）進(jìn)行觀察。OLS4500上可以使用下述觀察方法。 明視場觀察：基本的觀察方法，通過樣品的反射光成像進(jìn)行觀察。 |
激光顯微鏡的原理和特長 可進(jìn)行亞微米級觀察和測量的激光顯微鏡 光學(xué)顯微鏡的平面分辨率很大程度上取決于所用光的光子和波長，采用短波長的激光掃描顯微鏡（LSM）比采用可見光的傳統(tǒng)顯微鏡，擁有更高的平面分辨率。LEXT OLS4500采用405 nm的短波長半導(dǎo)體激光、高數(shù)值孔徑的專用物鏡、以及*的共焦光學(xué)系統(tǒng)，可以達(dá)到0.12 μm的平面分辨率。此外，OLS4500配有奧林巴斯的掃描加掃描型2D掃描儀，可以實(shí)現(xiàn)高達(dá)4096×4096像素的高精度XY掃描。 |
探針顯微鏡的原理和特長 可以觀察納米級微觀世界的探針顯微鏡 探針顯微鏡（SPM）是通過機(jī)械式地用探針在樣品表面移動，檢測出探針與樣品之間產(chǎn)生的力、電的相互作用，同時進(jìn)行掃描，從而得到樣品影像。探針曲率半徑為10 nm左右。典型的探針顯微鏡是原子力顯微鏡（AFM），它通過檢測探針和樣品表面之間作用的引力和張力進(jìn)行掃描并獲得影像。探針顯微鏡能夠觀察納米級微觀形貌，可以捕捉到樣品精細(xì)的一面。 |
LEXT OLS4500納米檢測顯微鏡實(shí)現(xiàn)了無縫觀察和測量
使用光學(xué)顯微鏡的多種觀察方法， 迅速找到觀察對象
OLS4500采用了白色LED光源，可以觀察到顏色逼真的高分辨率彩色影像。它裝有4種物鏡，涵蓋了低倍到高倍的大范圍觀察。OLS4500充分發(fā)揮了光學(xué)觀察的特長，除了常使用的明視場觀察（BF）以外，還可以使用對微小的凹凸添加明暗對比，達(dá)到視覺立體效果的微分干涉觀察（DIC），以及用顏色表現(xiàn)樣品偏光性的簡易偏振光觀察。此外，OLS4500上還配有HDR功能（高動態(tài)范圍功能），該功能使用不同的曝光時間拍攝多張影像后進(jìn)行合成，來顯示亮度平衡更好、強(qiáng)調(diào)了紋理的影像。在OLS4500上您可以使用多種觀察方法迅速找到觀察對象。
使用激光顯微鏡，可以觀察到光學(xué)顯微鏡中難以觀察到的樣品影像
OLS4500采用了短波長405 nm的激光光源和高N.A.的專用物鏡， 實(shí)現(xiàn)了優(yōu)異的平面分辨率。 能以鮮明的影像呈現(xiàn)出光學(xué)顯微
鏡中無法看到的觀察對象。 在激光微分干涉（DIC）模式中還可以實(shí)時觀察納米級的微小凹凸。
3種選項(xiàng)模式，幫助您完成各種分析
電流模式
對樣品施加偏置電壓，檢測出微懸臂與樣品之間的電流并輸出影像。此外，還可以進(jìn)行I/V測量。
表面電位模式（KFM）
使用導(dǎo)電性微懸臂并施加交流電壓，檢測出微懸臂與樣品表面之間作用的靜電，從而在影像中呈現(xiàn)樣品表面的電位。磁力模式（MFM）
在相位模式中使用磁化后的微懸臂進(jìn)行掃描，檢測出振動的微懸臂的相位延遲，從而在影像中呈現(xiàn)樣品表面的磁力信息。
懸臂
高精度微懸臂實(shí)現(xiàn)了高可靠性
探針顯微鏡的平面分辨率由探針前端的直徑?jīng)Q定。奧林巴斯獨(dú)自開發(fā)、生產(chǎn)微懸臂，其探針前端的尖銳直徑質(zhì)量穩(wěn)定，可靠性很高。此外，奧林巴斯的一系列設(shè)計—使探針定位更加容易的“T*iew”構(gòu)造、鑷子型易于夾取物體的“新概念探針”等，不僅提高了觀測精度，還使操作變得更加輕松。
OMCL-AC160TS-C3 標(biāo)準(zhǔn)硅膠微懸臂
高Q值帶來的高分辨率測量
該型號是常使用的動態(tài)模式專用微懸臂， 適用于表面粗糙度測量。
OMCL-AC240TS-C3 低彈簧常數(shù)硅膠微懸臂
可用于再現(xiàn)性較好的粘性和彈性測量
該型號作為動態(tài)模式專用的硅膠微懸臂，其彈簧常數(shù)小《2N/m(Nom.)》,適用于粘性、彈性的測量等。
OMCL-TR800PSA-1 標(biāo)準(zhǔn)氮化硅微懸臂
低損耗、優(yōu)異的耐久性
該型號常用于接觸模式，其特點(diǎn)是探針柔軟、探針損耗較小。每個前端帶有100μm和200μm長兩種微懸臂。
兼容多種微懸臂。微懸臂更換方法簡單而易于掌握
請根據(jù)您的使用頻度定期更換微懸臂。OLS4500上的電動物鏡轉(zhuǎn)換器、SPM測頭、微懸臂支架已經(jīng)被精確調(diào)整過， 所以只要把已調(diào)好微懸臂位置的支架插入SPM測頭中即完成更換。微懸臂和支架的位置調(diào)整需要使用專用工裝夾具， 所以誰都可以正確而輕松的完成操作。此外， 其他各種型號的微懸臂也按照同樣方法更換， 提高了觀察和測量的效率。
應(yīng)用實(shí)例
DVD表面 （掃描區(qū)域 5μm×5μm 3D影像） 可清楚觀察到DVD刻錄面的凹陷和表面狀態(tài) |
維氏硬度計壓痕 （掃描區(qū)域 20μm×20μm 3D影像） 可清楚觀察到從壓痕頂角延伸的裂痕 |
TiO2單結(jié)晶電路板 （掃描區(qū)域 5μm×5μm 3D影像） 可觀察到約0.3 nm的TiO2（*）的原子臺階 |
IC元件圓孔 （掃描區(qū)域 4μm×4μm 3D影像） 可觀察到元件表面附著的微小異物（白色部分） |
高分子薄膜 （掃描區(qū)域 10μm×10μm 3D影像） 可觀察到薄膜表面的劃痕（中間靠左） | 鋁合金陽極氧化膜 （掃描區(qū)域 1.8μm×1.8μm 表面電位模式（KFM模式）左：高度影像 右：電位影像） 觀察到鋁合金陽極氧化膜的表面形狀（左）的同時，觀察到表面電位（右） |
解決方案
1.在探針顯微鏡中弄丟了觀察對象。
雖然在觀察專用的光學(xué)系統(tǒng)中找到了觀察目標(biāo)點(diǎn)，但是切換到SPM觀察后卻無法獲取目標(biāo)點(diǎn)的影像。
實(shí)現(xiàn)納米級觀測的新型顯微鏡。不會丟失鎖定的目標(biāo)。
配有涵蓋了低倍觀察到高倍觀察的4種物鏡，并在電動物鏡轉(zhuǎn)換器上裝配了SPM單元。可以無縫切換倍率和觀察方法，不會丟失觀察對象。此外，該款顯微鏡可以進(jìn)行納米級觀測。 |
2.找不到觀察對象。
傳統(tǒng)的探針顯微鏡上裝配的光學(xué)系統(tǒng)倍率較低，所以會找不到晶圓或結(jié)晶表面上的微小缺陷，或者找到這類缺陷非常花費(fèi)時間。
涵蓋了低倍到高倍觀察，并配有多種觀察方法可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對象。
可以完成低倍到高倍的大范圍倍率觀察。不僅如此，*光學(xué)技術(shù)打造的光學(xué)顯微鏡帶來多種觀察方法，可以容易的發(fā)現(xiàn)觀察對象。此外，對于光學(xué)顯微鏡難以找到的觀察對象，還可以使用激光顯微鏡進(jìn)行觀察。在激光微分干涉（DIC）觀察中，可以進(jìn)行納米級微小凹凸的實(shí)時觀察。
3.想要縮短獲取目標(biāo)影像的時間。
通過其他裝置找到觀察對象后，再把樣品重新放到探針顯微鏡上，需要多次掃描才能夠獲取目標(biāo)影像。因此非常花費(fèi)時間。
縮短從放置樣品到獲取影像的工作時間。
放置好樣品后，所有的操作都在1臺裝置上完成。可以迅速，正確的把觀察對象移到SPM顯微鏡下面，所以只要掃描1次就能獲取所需的SPM影像。
4.評價樣品時， 必須分別使用不同種類的顯微鏡。
評價之前沒有操作過的樣品時，必須嘗試分別使用不同種類的顯微鏡。
一體機(jī)的機(jī)型，所以無需重新放置樣品只要在1臺裝置上切換倍率、觀察方法就能夠靈活應(yīng)對新樣品。 OLS4500是把光學(xué)顯微鏡、激光顯微鏡、探針顯微鏡融于一體的一體機(jī)，所以無需重新放置樣品，即可自由切換3種顯微鏡進(jìn)行觀察和評價。這3種顯微鏡各自持有優(yōu)異的性能，所以能夠高效輸出佳結(jié)果。 |
操作手冊
廠家介紹
奧林巴斯（中國）有限公司是一家主營工業(yè)、醫(yī)療和消費(fèi)者市場的國際公司，專業(yè)進(jìn)行光學(xué)、電子學(xué)和精密性工程研究。 涵蓋了各種工業(yè)技術(shù)的投資信息，包括創(chuàng)新型檢測、測量和影像設(shè)備的投資信息。各種*的檢測技術(shù)，包括：內(nèi)窺檢測技術(shù)（RVI）、顯微鏡技術(shù)（IE）、超聲波技術(shù)（UT）、相控陣技術(shù)（PA）、渦流技術(shù)（EC）、渦流陣列技術(shù)（ECA）、X射線熒光技術(shù)（XRF）和光學(xué)測量技術(shù)。我們的產(chǎn)品包括超聲波探傷儀、測厚儀、內(nèi)窺鏡、管道鏡、顯微鏡、*的在線無損檢測系統(tǒng)、XRF和XRD分析儀、干涉儀，并有各種工業(yè)掃描儀、探頭、軟件程序和設(shè)備附件可供選擇。
我們的宗旨是為的消費(fèi)者提供可靠、經(jīng)濟(jì)的系統(tǒng)。為此，我們加強(qiáng)了系統(tǒng)的安全性和質(zhì)量，保證了消費(fèi)者的生產(chǎn)力，從而為社會作出貢獻(xiàn)。我們一直積極開發(fā)新技術(shù)、新產(chǎn)品和新服務(wù)，保證始終用杰出的方案滿足消費(fèi)者的需求。因?yàn)楫a(chǎn)品的質(zhì)量直接關(guān)系到我們對消費(fèi)者的責(zé)任，因此在進(jìn)行高質(zhì)量的產(chǎn)品設(shè)計時，我們始終遵守高的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)章，以確保產(chǎn)品對公眾的安全。
商品參數(shù)
主機(jī) 規(guī)格 | ||||
LSM部分 | 光源、檢出系統(tǒng) | 光源：405 nm半導(dǎo)體激光、檢出系統(tǒng)：光電倍增管 | ||
總倍率 | 108～17,280X | |||
變焦 | 光學(xué)變焦：1～8X | |||
測量 | 平面測量 | 重復(fù)性 | 100x : 3σn-1=0.02μm、50x：3σn-1=0.04μm、20x：3σn-1=0.1μm | |
正確性 | 測量值的±2%以內(nèi) | |||
高度測量 | 方式 | 物鏡轉(zhuǎn)換器上下驅(qū)動方式 | ||
行程 | 10mm | |||
內(nèi)置比例尺 | 0.8nm | |||
移動分辨率 | 10nm | |||
顯示分辨率 | 1nm | |||
重復(fù)性 | 100x :σn-1= 0.012μm、50x：σn-1＝0.012μm、20x：σn-1＝0.04μm | |||
正確性 | 0.2+L/100 μm以下（L＝測量長度） | |||
彩色觀察部分 | 光源、檢出系統(tǒng) | 光源：白色LED、檢出系統(tǒng)：1/1.8英寸200萬像素單片CCD | ||
變焦 | 碼變焦：1～8X | |||
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 6孔電動物鏡轉(zhuǎn)換器 | |||
微分干涉單元 | 微分干涉滑片：U-DICR、內(nèi)置偏振光片單元 | |||
物鏡 | 明視場平面半消色差透鏡5X LEXT專用平面復(fù)消色差透鏡20X、50X、100X | |||
Z對焦部分行程 | 76 mm | |||
XY載物臺 | 100 x 100 mm（電動載物臺） | |||
SPM部分 | 運(yùn)行模式 | 接觸模式、動態(tài)模式、相位模式、電流模式* 、表面電位模式（KFM）*、磁力模式（MFM）* | ||
位移檢出系統(tǒng) | 光杠桿法 | |||
光源 | 659 nm半導(dǎo)體激光 | |||
檢出設(shè)備 | 光電檢測器 | |||
大掃描范圍 | X-Y：大 30 μm x 30 μm、Z：大 4.6 μm | |||
安裝微懸臂 | 在盒式微懸臂支架上一鍵安裝。使用微懸臂安裝位置調(diào)整 專用工裝夾具預(yù)對位，更換支架時無需光學(xué)調(diào)整。 | |||
系統(tǒng) | 總重量 | 約440 kg（不包含電腦桌） | ||
I額定輸入 | 100－120 V/220－240 V、600 VA、50/60 Hz | |||
微懸臂 規(guī)格 | |||||||||
用途 | 型號 | 類型 | 探針數(shù)量 | 微懸臂 | 探針 | 材質(zhì) | 金屬膜 | ||
共振頻率 | 彈簧常數(shù) | 高度 | 前端半徑 | 探針／ | 探針涂層／ | ||||
動態(tài)模式／ | OMCL-AC160TS-C3 | 標(biāo)準(zhǔn)硅膠 | 24 | 300 | 26 | 14 | 7 | Si / Si | 無 / Al |
OMCL-AC240TS-C3 | 低彈簧常數(shù)硅膠 | 24 | 70 | 2 | 14 | 7 | Si / Si | 無／Al | |
接觸模式 | OMCL-TR800PSA-1 | 標(biāo)準(zhǔn)氮化硅 | 34 | 73 / 24 | 0.57 / 0.15 | 2.9 | 15 | SiN / SiN | 無／Au |
表面電位模式 | OMCL-AC240TM-B3 | 電氣測量專用硅膠 | 18 | 70 | 2 | 14 | 15 | Si / Si | Pt/Al |
