微型真空平移臺采用低剖面設計提高了穩定性和精度,盒式設計和彈簧預加載提高了平移臺剛性降低了柔性,使用不銹鋼制造增加了穩定性。
微型真空平移臺方便快速安裝到其它光學機械上或者搭建成XY平移臺或XYZ平移臺系統,也可以倒置使用.
圖1:微型真空平移臺實物圖
微型真空平移臺特點
超級緊湊
固態盒式設計
可使用的安裝面大
移動范圍是6mm
方便裝配成X-Y二維平移臺
不銹鋼制造,可以用于真空環境
圖2:微型真空平移臺配備不同驅動螺釘
圖3:微型真空平移臺安裝應用圖-采用直角安裝板2AB67-6
微型真空平移臺規格參數
移動范圍 6mm
靈敏度 1µM
讀數精度 10µm
角偏差 <150µRad
跟蹤精度 2µM
負載能力:
水平 45kg
垂直 3kg
重量 0.1kg
負載裝配
X-Y 直接裝配
Z軸 使用直角安裝板2AB67-6