電子探針X射線顯微分析儀
儀器名稱：電子探針X射線顯微分析儀 型 號(hào)：EPMA-1600 生產(chǎn)廠家：日本島津公司 儀器簡介：日本島津公司的EPMA－1600型電子探針，由四道譜儀、八塊分光晶體組成。此儀器不僅有較高的X射線檢出角，同時(shí)由于使用全聚焦的X射線分光晶體，能兼顧X射線檢測的高靈敏度和高分辨率，并配有高穩(wěn)定的電子光學(xué)系統(tǒng)，真空系統(tǒng)及高精度機(jī)械系統(tǒng)以及牛津X-射線電制冷能譜儀，是目前的微區(qū)成分定量分析和形貌觀察的大型科研儀器之一。 儀器主要特點(diǎn)及技術(shù)指標(biāo)： l 分析元素范圍： 4Be～94Pu l 電子束流穩(wěn)定性：好于1.5×10-3/H l 二次電子像分辨率：6nm l 加速電壓：0~30kV l X射線檢出角：52.5° l 放大倍數(shù)：50×～300,000× l 分析速度：自動(dòng)全元素定性分析時(shí)間≤60s l 樣品尺寸： l 樣品臺(tái)最小移動(dòng)間距為0.01微米，機(jī)械系統(tǒng)精密度高 l 可觀察二次電子像（SEI)，背散射電子像(BEI)，吸收電子像，光學(xué)顯微像，X射線面分布像等。兼顧微區(qū)成分定量分析和形貌觀察 儀器主要功能及其用途： l 非破壞分析（分析時(shí)，被分析樣品不會(huì)損壞，可以實(shí)現(xiàn)同點(diǎn)重復(fù)分析） l 微米尺度的空間分辨分析 l 輕元素的定量分析 l 元素的面分布分析 l 痕量元素的成分分析
