高精度定位臺Q-max是美國Nutec公司制造的高分辨率超級耐用定位工作臺，它在水平或垂直方向均可提供短行程高精度定位并保持高精度軌跡控制。
高精度定位臺Q-max應用
高精度定位臺Q-max非常適合精準軌跡控制的應用,比如半導體光學測量,平板顯示測量,微電子測量設備,也作為OEM定位器件集成到這些大系統中,在范圍內作為OEM器件存在40萬套的銷量。上客戶用高精度定位臺Q-max在微電子晶圓制造中對液體精密加注,在激光和光學領域,科學家使用它精密控制光路等。
高精度定位臺Q-max特點
精密定位臺具有25mm, 50mm 和100mm行程范圍
集成高精度線性編碼器，分辨率高達12.5nm
Quad-Vee Lock needle傳導系統提供恒定支持
滾珠絲杠或滾柱絲杠傳導，滯帶最小
重復精度高達亞納米，特別適合Z軸或垂直應用
高精度定位臺Q-max規格參數
行程范圍：25mm,50mm,100mm
驅動系統：滾珠BSM40
滾珠間距：1mm
加速度：受負載影響
速度：30mm/s
建議負載：15kg (QMX-25), 30kg(QMX-50),35kg(QMX-100)
反饋系統：非接觸式線性編碼器系統
重復精度：<=100nm
| 型號 | QMX-25 | QMX-50 | QMX-100 |
|---|---|---|---|
| 行程 | 25 mm | 50 mm | 100 mm |
| 軌跡控制 | |||
| 精度 | |||
| 標準版精度 | ± 2.0 µm | ± 3.0 µm | ± 4.0 µm |
| 高精度版精度 | ± 0.5 µm | ± 1.0 µm | ± 1.5 µm |
| 直線度/平整度 | |||
| 標準版直線度/平整度 | ± 1.0 µm | ± 2.0 µm | ± 3.0 µm |
| 高精度版直線度/平整度 | ±0.5µm | ±0.5µm | ±0.5µm |
| Yaw/Pitch/Roll | |||
| 標準版Yaw/Pitch/Roll | 5 arc-sec | 7.5 arc-sec | 9 arc-sec |
| 高精度版Yaw/Pitch/Roll | 4 arc-sec | 5 arc-sec | 6 arc-sec |
| *精度Yaw/Pitch/Roll* | 3 arc-sec | 4 arc-sec | 5 arc-sec |
| 分辨率 | |||
| 線性編碼器 | 標準品 | 50nm | |
| 可選參數 | 聯系我們索取 | ||
| 旋轉編碼器 | @1 mm lead | 100nm | |
| @5 mm lead | 50.8nm | ||
| XY二維定位臺系統 | |||
| 標準品正交性 | 20 arc-sec | 20 arc-sec | 20 arc-sec |
| 高精度版正交性 | 10 arc-sec | 10 arc-sec | 10 arc-sec |
| *精度版正交性 | 5 arc-sec | 5 arc-sec | 5 arc-sec |
