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微小氣體質量流量計

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  • 更新時間2021-07-20
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微小氣體質量流量計 產品詳情

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 AX10FC中高壓型采用全不銹鋼傳感器,適合于測量各種與316不銹鋼兼容的氣體。AX10FC采用無熱漂移,無響應滯后的差壓質量測量原理,可以同時顯示和輸出:瞬時流量、累計流量、壓力、溫度等。當需要控制功能時,還可以加裝電磁比例調節閥和內置PID調節功能。
   顯示器、鍵盤、通訊和多變量輸出均是標準配置,具有手操器/顯示儀/積算儀的全部功能。通過面板操作,可以完成以下內容:氣體選擇、單位選擇、量程設定,報警點設定,閥門狀態、自動校準等。
   與熱式流量計不同,當用氣體轉換系數時,V10FC沒有附加的“比熱容”誤差。所以,即使測量氣體與出廠時的標定氣體不同,也不會影響測量精度。
產品應用
產品廣泛用于真空,鍍膜,太陽能,半導體,石油石化,煤炭冶金,制氣配氣,***及各種分析儀器等。

產品特點
● 通用型,適合10Mpa以下各種氣體測量
● 無熱漂移,可以忽略的溫移和時漂,長期穩定性0.1%F.S/年
● 準確度0.8%,量程可在100:1范圍內按鍵設定,無需標定
● 瞬時和累計流量、壓力、溫度可同時顯示和輸出
● 無需預熱,測量時無響應滯后
● 內置31種氣體轉換系數,無比熱容附加誤差,不影響精度
● 自動累計,分段累計功能

技術指標
AX10FC-M/HC質量流量控制器
AX10FC-M/HC質量流量計
量程范圍
小量程:5SCCM~10SLM 中量程:10SLM~30SLM 大量程:30SLM~250SLM
控制范圍
控制器50:1
流量計100:1
準 確 度
流量:±0.8%讀數±0.2%滿量程
可選±0.4%讀數±0.2%滿量程
壓力:0.5%F.S 溫度:±1℃
線 性
±0.5%F.S
重復精度
±0.2%F.S
響應時間
100ms
10ms
數 字 量
RS232/485,MODBUS協議
模 擬 量
0~5V、4~20mA、1~5V
供電
12V/24V/±15V可選
工作溫度
0~50℃
工作壓力
工作壓差:0.03~0.5MPa
工作壓降:<0.01Mpa
耐壓
中壓3MPa,高壓10MPa
電氣連接
DB15孔
漏 率
1×10-9SccsHe
溫度系數
±0.015%F.S/℃
底座材質
316L
密封材料
氟橡膠,氯丁橡膠,丁晴橡膠
接 頭
VCR1/4;swagelokφ6

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