設(shè)備概況
設(shè)備名稱:有機(jī)清洗臺(tái)
設(shè)備型號(hào):KSJ -T-OGW-B
整機(jī)尺寸(參考):
約1800mm(L)×1100mm(W)×2000mm(H);
被清洗工件規(guī)格:4〞 -6 〞硅片 25 PCS/籃
(145mm*125mm*120mm) ;
產(chǎn)能:25片/批;
節(jié)拍 :0~99min 可調(diào) ;
設(shè)備類型:半自動(dòng);
設(shè)備特點(diǎn)
1.骨架:國(guó)產(chǎn)優(yōu)質(zhì)SUS304骨架;
2.外殼:2mm厚優(yōu)質(zhì)SUS304鏡面板制作;
3.有機(jī)槽/超聲槽/IPA槽:采用優(yōu)質(zhì)2mm厚SUS316L+電解拋光處理;
4.QDR/DIW槽:德國(guó)進(jìn)口10mm PP-N板熱熔焊接而成;
5.管路:管路位于機(jī)臺(tái)下/后部,管道采用CL-PVC和PFA管路相互配合使用;
6.排風(fēng):根據(jù)流體學(xué)原理設(shè)計(jì)位于機(jī)臺(tái)后上部,并配有導(dǎo)流和風(fēng)量調(diào)節(jié)裝置;
7.工作照明:機(jī)臺(tái)頂部配防腐防爆照明;
8.DI/N2 GUN:設(shè)備配PFA可伸縮的N2 Gun和DIW Gun各1把,分置于工作設(shè)備左側(cè)