GFM系列用于測量氣體質量流量。本品外殼堅固耐用，精確度高，是一款多功能而且經濟實用的流量測量產品。可選鋁或不銹鋼外殼，可選顯示工程單位（標準）或百分比。外形設計包括一個置于傳感器頂部的LCD顯示模塊，這個顯示模塊可傾斜90度以上以方便讀數。它用一個標準的插頭與傳感器連接，也可以分開獨立安裝。OEM的應用可提供無LCD顯示的產品。GFM質量流量計的測量范圍是10sccm到1000sL/min（N2）；用1/4"，1/8"和1/2"卡套螺紋或3/4"FNPT接，可選其他連接方式。該儀表可以作為臺式設備或者用螺絲在平板上固定。
電源電路采用保險絲和極性保護設計。
滲漏率：氦氣測試泄漏率為1×10-7 sml/s。被測氣體分別流經兩個層流區，一路通過主流量管道，另一路通過毛細測量管。兩個管路的設計保證流體處于層流狀態，因此兩個管路流量比是恒定的。兩個精密的溫度感應繞組在測量管上被加熱，當有流量產生時，被加熱的氣體從上游帶走熱量到下游的感應繞組上。產生溫差和感應圈電阻的變化是成比例的。
測量繞組的電阻值與瞬時流量成線性比例關系，采用惠斯頓電橋來檢測測量繞組的電阻變化。根據被測氣體的質量流量，輸出0…5 V D C或者4…20mA信號。經過兩個層流區的氣體混合后流過具有特定孔徑的電磁比例閥，質量流量測量與電磁比例閥組成閉環的控制系統，使流量穩定在設定的流量值上。在一定范圍內溫度和壓力的變化不會影響流量測量值。
