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磁控濺射靶源

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時(shí)間2021-03-01
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 所在地區(qū)上海市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量122
  • 人氣值1944
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產(chǎn)品描述:磁控濺射靶源 在線訂購(gòu)
磁控濺射靶源 產(chǎn)品詳情
磁控濺射靶源
  
    我司提供的磁控濺射源是目前和超高真空系統(tǒng)(1e-11torr)匹配的商業(yè)用濺射源。 在不配置彈性墊圈的結(jié)構(gòu)中,可烘烤至250℃。在匹配的超高真空環(huán)境下,可以實(shí)現(xiàn)超高純度的濺射沉積。
 
 
 
 
 
 
應(yīng)用范圍:
金屬沉積;
電介質(zhì)沉積;
復(fù)合物沉積。
 
 
 
技術(shù)參數(shù):
不同型號(hào)濺射源可以選用不同靶材尺寸 .1”,2”,3” 等各種靶材尺寸均可使用;
靶材厚度薄,低4mm,節(jié)約靶材;
濺射源法蘭上帶有氣體管道,以便提高操作濺射源時(shí)的真空。
手動(dòng)/馬達(dá)驅(qū)動(dòng) 擋板
濺射源可設(shè)計(jì)成原位傾斜,傾斜角度(+/-30o)
氣體流量控制
進(jìn)程全自動(dòng)化
真空中可烘烤至250攝氏度;
 占用空間小;
冷卻水流量低,僅0.5L/min
熱門產(chǎn)品
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