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ONYX矩形磁控濺射陰極

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  • 所在地
  • 更新時間2020-09-14
  • 廠商性質生產廠家
  • 所在地區深圳市
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  • 產品數量107
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ONYX矩形磁控濺射陰極 產品詳情

美國AngstromSciences ONYX系列矩形磁控濺射陰極的設計,以滿足嚴格的薄膜均勻,靶材利用率,和濺射速率規格。除了由的異型磁鐵和水冷技術所提供的*的性能測試結果,Angstrom Sciences磁控濺射陰極還提供許多其他優異性能。


隨著工業應用對速度,可控性和產能越來越高的要求,Angstrom Sciences正在開發合適的陰極來適應這些要求更大、更快的制造工藝。
1、更廣泛的解決方案
對于那些需要在大面積基板上沉積或必須實現*的吞吐量的應用,矩形磁控陰極提供了完美的解決方案。
2、優勢
Angstrom Sciences的矩形磁控陰極采用*封裝的異形釹鐵硼稀土磁體和水冷技術,提供的性能。
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我們使用ISO NW標準配件,以及Conflat 金屬密封法蘭。所有的維護操作都在大氣中進行,使用標準的O型圈密封,易于安裝在任何標準的真空系統中。
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