美國AngstromSciences ONYX系列矩形磁控濺射陰極的設計,以滿足嚴格的薄膜均勻,靶材利用率,和濺射速率規格。除了由的異型磁鐵和水冷技術所提供的*的性能測試結果,Angstrom Sciences磁控濺射陰極還提供許多其他優異性能。
1、更廣泛的解決方案
對于那些需要在大面積基板上沉積或必須實現*的吞吐量的應用,矩形磁控陰極提供了完美的解決方案。
2、優勢
Angstrom Sciences的矩形磁控陰極采用*封裝的異形釹鐵硼稀土磁體和水冷技術,提供的性能。
3、標準配件
我們使用ISO NW標準配件,以及Conflat 金屬密封法蘭。所有的維護操作都在大氣中進行,使用標準的O型圈密封,易于安裝在任何標準的真空系統中。
4、電源兼容性
低阻抗頭提供了射頻、直流 、中頻直流、直流脈沖以及微波電源的兼容性。
5、經過驗證的性能
這些磁控陰極提供的的性能,使得Angstrom Sciences成為行業的新標準。
在極低的壓力下以*的功率工作,為您提供在任何應用中的均勻性、利用率和速率的完美平衡。
6、任何長度
Angstrom Sciences的矩形陰極寬度可從1.5英寸到16英寸,長度可達12英尺。 當然,我們*具備設計并構建定制任何滿足您的生產需求的磁控陰極。
7、*
Angstrom Sciences致力于幫助我們的客戶開發生產力的和具有成本效益的薄膜應用,提供世界上的磁控陰極,高品質的沉積材料,全面的技術支持。我們隨時準備著以確保您的滿意度。