美國AngstromSciences ONYX系列圓型磁控濺射陰極的設計，以滿足嚴格的薄膜均勻，靶材利用率，和濺射速率規格。除了由的異型磁鐵和水冷技術所提供的*的性能測試結果，Angstrom Sciences磁控濺射陰極還提供許多其他優異性能。
Angstrom Sciences公司生產的的圓形磁控濺射陰極作為已成為*的新標準，除了Angstrom Sciences的*優點，還提供許多其他性能優點。
1、多功能，緊湊型設計
其緊湊的設計使我們的圓形磁控管適合于任何新建或改造應用，包括復雜的集群組件小的真空室。
2、兼容各種形式的電源
低阻抗頭提供了射頻，直流 ，中頻直流，直流脈沖，微波電源的兼容性。
3、標準配件
我們使用ISO標準配件，以及Conflat?金屬密封法蘭。所有附件的維護部分處于大氣中，并使用標準的O形圈密封，易于安裝及維護。
4、尺寸齊全
圓形磁控陰極可選從1到16英寸直徑的規格，標準或自定義配置。
5、快速，簡便的更換靶材
我們的螺紋式靶材卡環和陽極屏蔽罩允許你不使用輔助工具即可更換靶材。他們內置的可調節性也可以讓你輕松適應不同厚度的靶材。
6、高真空度，高功率
ONYX ?磁控管可以在極低的壓力（10-4 Torr）的范圍內操作， *的直接冷卻設計，可提供功率密度高達250 watts/in2 ( 30 watts/cm2 ) 。
7、高濺射速率，高性能
更高的功率密度，濺射速率更快。在保持高濺射速率的同時，大化鍍膜面積和靶材利用率（通常在40％的范圍內）
8、優秀的均勻性
由于我們的異型磁鐵，我們的磁控管也提供更大的沉積均勻性 - 經常在± 3-5 ％的范圍內。
9、*
所有Angstrom Science的磁控陰極對做工和用料的缺陷保修兩年。磁控陰極是我們的核心業務，我們隨時準備著以確保您的滿意度。
選項表格：
1、多功能，緊湊型設計
其緊湊的設計使我們的圓形磁控管適合于任何新建或改造應用，包括復雜的集群組件小的真空室。
2、兼容各種形式的電源
低阻抗頭提供了射頻，直流 ，中頻直流，直流脈沖，微波電源的兼容性。
3、標準配件
我們使用ISO標準配件，以及Conflat?金屬密封法蘭。所有附件的維護部分處于大氣中，并使用標準的O形圈密封，易于安裝及維護。
4、尺寸齊全
圓形磁控陰極可選從1到16英寸直徑的規格，標準或自定義配置。
5、快速，簡便的更換靶材
我們的螺紋式靶材卡環和陽極屏蔽罩允許你不使用輔助工具即可更換靶材。他們內置的可調節性也可以讓你輕松適應不同厚度的靶材。
6、高真空度，高功率
ONYX ?磁控管可以在極低的壓力（10-4 Torr）的范圍內操作， *的直接冷卻設計，可提供功率密度高達250 watts/in2 ( 30 watts/cm2 ) 。
7、高濺射速率，高性能
更高的功率密度，濺射速率更快。在保持高濺射速率的同時，大化鍍膜面積和靶材利用率（通常在40％的范圍內）
8、優秀的均勻性
由于我們的異型磁鐵，我們的磁控管也提供更大的沉積均勻性 - 經常在± 3-5 ％的范圍內。
9、*
所有Angstrom Science的磁控陰極對做工和用料的缺陷保修兩年。磁控陰極是我們的核心業務，我們隨時準備著以確保您的滿意度。
選項表格：
| Target size (in.) | Indirect Target Cooling (clamped) | Indirect Target Cooling MAG.II Design | Direct Target Cooling (clamp or bond) | Direct Target Cooling MAG. II Design | "Add" High Temperature 200 degC continuous operation capability / UHV Compatible (10-9 Torr) | "Add" In-situ Tilting | "Add" Standard Internal Flex | "Add" Internal welded fixed angle | "Add" Manual Shutter | "Add" Pneumatic Shutter | "Add" Cross Contamination Shield | "Add" Gas Inlet Ring | "Add" External utility enclosure | "Add" External strain relief |
| 1.0 | ||||||||||||||
| 2.0 | ||||||||||||||
| 3.0 | ||||||||||||||
| 4.0 | ||||||||||||||
| 5.0 | ||||||||||||||
| 6.0 | ||||||||||||||
| 8.0 | ||||||||||||||
