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  • 美國 KRI 霍爾離子源 eH 400 等離子清洗器

美國 KRI 霍爾離子源 eH 400 等離子清洗器

參考價(jià)訂貨量

10

≥1 臺

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號
  • 品牌其他品牌
  • 所在地上海
  • 更新時(shí)間2022-10-19
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 所在地區(qū)上海
  • 產(chǎn)品數(shù)量92
  • 人氣值1595
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位于中國上海浦東外高橋保稅區(qū)的伯東企業(yè)(上海)有限公司創(chuàng)建于1995年12月,是日本伯東株式會社獨(dú)資設(shè)立的外商投資企業(yè),公司注冊資金為800萬美元。

本公司主要是一家以經(jīng)營電子接插件、線束、電線以及機(jī)械設(shè)備、中空產(chǎn)品等精密儀器、設(shè)備的維修,以及以半導(dǎo)體制造裝置、基板制造裝置、電腦軟件為主的貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易及保稅區(qū)企業(yè)間貿(mào)易及保稅區(qū)貿(mào)易代理、貿(mào)易及相關(guān)技術(shù)咨詢的公司。

公司一直堅(jiān)持品質(zhì)*、信譽(yù)*的原則,為廣大客戶提供了高品質(zhì)的產(chǎn)品以及良好的售后服務(wù)。到目前為止已先后通過了美國UL安全認(rèn)證、 ISO9001-2000質(zhì)量體系認(rèn)證、ISO14001-1996環(huán)境體系認(rèn)證。公司將在今后的發(fā)展中秉承以人為本,不斷開拓進(jìn)取的精神,為滿足客戶的需求努力向?qū)I(yè)化、優(yōu)質(zhì)化、集團(tuán)化發(fā)展。

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產(chǎn)地進(jìn)口 加工定制
上海伯東代理美國考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 霍爾離子源 eH 400 低成本設(shè)計(jì)提供高離子電流, 霍爾離子源 eH 400 尺寸和離子能量特別適合中小型的真空系統(tǒng), 可以控制較低的離子能量, 通常應(yīng)用于離子輔助鍍膜, 預(yù)清洗和低能量離子蝕刻.
尺寸: 直徑= 3.7“ 高= 3”
放電電壓 / 電流: 50-300eV / 5a
操作氣體: Ar, Xe, Kr, O2, N2,
美國 KRI 霍爾離子源 eH 400 等離子清洗器 產(chǎn)品詳情

上海伯東代理美國考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 霍爾離子源 eH 400 低成本設(shè)計(jì)提供高離子電流, 霍爾離子源 eH 400 尺寸和離子能量特別適合中小型的真空系統(tǒng), 可以控制較低的離子能量, 通常應(yīng)用于離子輔助鍍膜, 預(yù)清洗和低能量離子蝕刻.

尺寸: 直徑= 3.7“  高= 3”

放電電壓 / 電流: 50-300eV / 5a

操作氣體: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有機(jī)前體

 

伯東 KRI 霍爾離子源 eH 400 特性:

1.可拆卸陽極組件 - 易于維護(hù); 維護(hù)時(shí), 大限度地減少停機(jī)時(shí)間; 即插即用備用陽極

2.寬波束高放電電流 - 均勻的蝕刻率; 刻蝕效率高; 高離子輔助鍍膜 IAD 效率

3.多用途 - 適用于 Load lock / 超高真空系統(tǒng)

4.高效的等離子轉(zhuǎn)換和穩(wěn)定的功率控制

 

KRI 霍爾離子源 eH 400 技術(shù)參數(shù):

型號

eH 400 / eH 400 LEHO

供電

DC magnetic confinement

- 電壓

40-300 V VDC

- 離子源直徑

~ 4 cm

- 陽極結(jié)構(gòu)

模塊化

電源控制

eHx-3005A

配置

-

- 陰極中和器

Filament, Sidewinder Filament or Hollow Cathode

- 離子束發(fā)散角度

> 45° (hwhm)

- 陽極

標(biāo)準(zhǔn)或 Grooved

- 水冷

前板水冷

- 底座

移動或快接法蘭

- 高度

3.0'

- 直徑

3.7'

- 加工材料

金屬
電介質(zhì)
半導(dǎo)體

- 工藝氣體

Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors

- 安裝距離

6-30”

- 自動控制

控制4種氣體

* 可選: 可調(diào)角度的支架; Sidewinder

 

KRI 霍爾離子源 eH 400 應(yīng)用領(lǐng)域:

1.離子輔助鍍膜 IAD

2.預(yù)清潔 Load lock preclean

3.In-situ preclean

4.Low-energy etching

5.III-V Semiconductors

6.Polymer Substrates

關(guān)鍵詞:標(biāo)準(zhǔn)
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