實時完成高精度多元流量測量

同時實時測量質量流量、體積流量、管線壓力和管線溫度，可用流量量程跨度寬，內置多種氣體校準，使得這款流量計成為您實驗室的明星設備。

• 準確。流量測量具有NIST可溯源精度，適用于低至滿量程1/200th的各種氣體，還可利用COMPOSER™氣體編輯器自定義您自己的氣體組成。
• 使用簡單。只要您打開流量計，流量計便能顯示您所選工藝設備中的實時流量、壓力和溫度讀數。
• 連接。艾里卡特M系列氣體質量流量計默認采用數字與模擬兩種通訊方式；訂購時，可選擇以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus或Modbus（RTU和TCP/IP）通訊，方便與您的數字工業或實驗室網絡整合。

更多產品信息請查看質量流量計、質量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器。

• Specs
• 定制
• 零件編號
• Applications

性能

• 可用量程：大0-5000 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標簽）
• 可調比：200:1（M系列）或者100:1（MS系列）
• 標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數+0.2%滿量程）
• 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數+0.2%滿量程）
• 可重復性：0.2%滿量程
• 標準控制器響應時間常數：5-10ms
• 無需預熱時間

工作條件

• 兼容氣體：98（MB系列）或130（MBS系列）種預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
• 工作溫度：-10°C至+60°C
• 大內部壓力（靜態）：145 psig（160 psia）
• 大差壓（進口至出口）：75 psid
• 耐受壓力：175 psig（190 psia）
• STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

包裝清單

• M系列氣體質量流量計（電源需另行訂購）
• NIST可溯源校準證書
• 艾里卡特操作說明書

配件（需另行訂購）

• 過程端口接頭和過濾器
• 電源
• 通訊線纜和轉換線纜
• BB3和BB9多點式集線盒
• Flow Vision軟件