微氣體質(zhì)量流量計(jì)原理的概述：
采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測(cè)量微小、小流量的優(yōu)勢(shì)的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器，主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測(cè)和控制。
該產(chǎn)品能替代浮子流量計(jì)、孔板流量計(jì)等流量計(jì)。其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無(wú)可動(dòng)部件，量程比寬，響應(yīng)時(shí)間較快，測(cè)量精度高，無(wú)需要溫度壓力補(bǔ)償。
微氣體質(zhì)量流量計(jì)原理的技術(shù)參數(shù)：
2.1 測(cè)量介質(zhì)：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）
2.2 流量范圍：DN3 30-300ml/min
DN6 60-600ml/min
DN8 80-800ml/min
DN10 100-1000ml/min
注：
a)以上流量的測(cè)量介質(zhì)為空氣而言；
b)以上流量的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)20℃，101.325kPa。
c) 每個(gè)口徑量程范圍均可擴(kuò)大
d)特殊需要可單獨(dú)標(biāo)定
2.3 流量測(cè)量準(zhǔn)確度：±1.5%FS；±2.5%FS
2.4 工作溫度范圍：0-55℃；
2.5 工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa
2.6 供電電源：24VDC±10%；
2.7 輸出信號(hào)：4-20mA，RS485通訊；
2.8 環(huán)境溫度：0-55℃；
2.9 顯示位數(shù)：瞬時(shí)流量為三位，累積流量10位。
工作原理：
uf感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作， 保證傳感器的高度*，解決了：“現(xiàn)在傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)無(wú)法保證其傳感器的電阻值的*性，導(dǎo)致傳感器在各個(gè)法線方向熱傳導(dǎo)速度的差異，所以傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)在傳感器校準(zhǔn)和使用過程中產(chǎn)品穩(wěn)定性存在問題，實(shí)際應(yīng)用中的熱式質(zhì)量流量計(jì)價(jià)格昂貴，大規(guī)模應(yīng)用比較難”的問題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質(zhì)量流量計(jì)，同時(shí)可靠性穩(wěn)定,安全性更好。
在芯片上，一個(gè)微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導(dǎo)，使動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間大大提高。當(dāng)傳感器工作時(shí)，微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差（通常是70℃），在芯片周圍形成固定的溫度場(chǎng)分布。如果氣體是單向流動(dòng)，
微氣體質(zhì)量流量計(jì)的型號(hào)命名
| MF? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | |
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| 接頭類型 | 0：普通 |
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| 1：Swagelok接頭 | ||
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| 2：其他 | ||
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| 連接形式 | 0：快速接頭 | |
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| 1：法蘭式 | |||
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| 標(biāo)定方式 | 0：空氣 | ||
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| 1：氫氣 | |||
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| 2：氧氣 | |||
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| 3：氮?dú)?/p> | ||||
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| 品種 | 01：有顯示；有485通訊口；有4-20mA輸出 | |||
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| 02：有顯示；有485通訊口；無(wú)4-20mA輸出 | ||||
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| 03：有顯示；無(wú)485通訊口；有4-20mA輸出 | ||||
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| 04：有顯示；無(wú)485通訊口；無(wú)4-20mA輸出 | ||||
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| 05：無(wú)顯示；有485通訊口；無(wú)4-20mA輸出 | ||||
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| 06：無(wú)顯示；無(wú)485通訊口；有4-20mA輸出 | ||||
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| 材質(zhì) | 0：304不銹鋼 | ||||
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| 1：316不銹鋼 | |||||
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| 2：316L不銹鋼 | |||||
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| 3：鋁 | |||||
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| 4：其他 | |||||
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| 壓力 | 0：≤0.3Mpa | |||||
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| 1：≤0.6Mpa | ||||||
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| 2：≤1.0Mpa | ||||||
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| 被測(cè)介質(zhì) | |||||||
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| 流量范圍 | ||||||||
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| 產(chǎn)品通徑 | 03：DN3 | ||||||||
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| 06：DN6 | |||||||||
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| 08：DN8 | |||||||||
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| 10：DN10 | |||||||||
| 產(chǎn)品類型 | M：質(zhì)量流量計(jì) | |||||||||
| C：質(zhì)量流量控制器 | ||||||||||
輸出
PIN1：報(bào)警輸出2
PIN2：報(bào)警輸出1
PIN4：RS485B
PIN5：RS485A
PIN11：電源負(fù)端（0V）
PIN12：電斷正端（24V）
PIN14：LOOP-
PIN15：LOOP+
PIN3、6~10、13：信號(hào)地（報(bào)警信號(hào)參考地）
8.2 報(bào)警連接
8.3 RS485連接：
8.4 4-20mA輸出連接：
