800℃近距離蒸發(fā)鍍膜爐
配有11“內(nèi)徑的石英室和5“×5“旋轉(zhuǎn)樣品架。它設(shè)計用于CSS（近距離升華）薄膜涂層，可達5“圓形或方形晶圓樣品，工作溫度可達800℃。爐體由兩組鹵素加熱器（頂部和底部）分別加熱，zui高溫度為10℃頂部樣品架可旋轉(zhuǎn)，實現(xiàn)高均勻性涂層，是研究CdTe，硫化物和鈣鈦礦太陽能電池等新一代太陽能電池薄膜的理想工具。
簡單介紹：
800℃近距離蒸發(fā)鍍膜爐是一款*的快速熱處理爐，配有11"內(nèi)徑的石英室和5"×5"旋轉(zhuǎn)樣品架。它設(shè)計用于CSS（近距離升華）薄膜涂層，可達5"圓形或方形晶圓樣品，工作溫度可達800℃。800℃近距離蒸發(fā)鍍膜爐爐體由兩組鹵素加熱器（頂部和底部）分別加熱，zui高溫度為10℃頂部樣品架可旋轉(zhuǎn)，實現(xiàn)高均勻性涂層，是研究CdTe，硫化物和鈣鈦礦太陽能電池等新一代太陽能電池薄膜的理想工具。
詳情介紹：
產(chǎn)品特點：
1、兩個溫度控制器進行獨立控溫，雙通道氣體流量計集成到移動鋁合金框架中。
2、腔室由高純度熔融石英管制成，其尺寸為11”OD / 10.8”ID×9”H。
3、真空法蘭由316不銹鋼制成，并由電動機提升。
4、兩個5”×5”紅外加熱板，間距可調(diào)。
5、兩樣品臺距離以及旋轉(zhuǎn)均可通過觸摸屏控制
6、頂部載樣臺可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速可調(diào)：1-7rpm
技術(shù)規(guī)格：
工作電壓 | 208-240VAC,單相, 50A空氣斷路器 |
真空法蘭 | • 帶有一個KFD-25真空端口和一個氣體出口（需要1/4”管道）的頂部法蘭可以手動上下滑動，以便輕松地裝載和卸載基材和蒸發(fā)的材料。 • 底部法蘭有一個KFD-25真空口，帶一個進氣口（需要1/4”管）和針閥。 • 法蘭采用雙硅膠O型圈密封，可達到zui大。采用機械泵真空壓力為10E-2Torr，采用分子泵10E-5Torr（不含真空泵，請另外訂購）。 • 一個數(shù)字真空計安裝在頂部法蘭上。 • 精密防腐數(shù)字真空計是標準包裝 |
加熱器和樣品架 | • 兩個獨立控制的加熱器，手動可調(diào)間隙為2-30 mm。 • 20個鹵素燈用作加熱元件，用于快速熱處理。 • 加熱器由不銹鋼制成，帶有水冷夾套，以減少熱輻射，并能夠快速冷卻。 • 5”直徑圓形晶圓支架內(nèi)置于頂部加熱器中，用于固定基板。 • 包括一組高導熱AlN板（5”直徑×0.5mm厚）（放置在基板背面以使其均勻加熱）。 • 包含58L / min循環(huán)水冷卻器用于節(jié)約水源。 • 頂部樣品架可在0 - 7 RPM的可調(diào)速度下旋轉(zhuǎn)。 |
