C30型氣體質量流量控制器計采用毛細鋼管傳熱和溫差量熱原理測量氣體的質量流量，其中質量流量控制器可以對氣體的質量流量進行精確的控制。由于溫差量熱只和氣體的質量流量相關，所以氣體的溫度和壓力變化不會影響到測量值。
國內同類產品
穩定性和可靠性高
±0.2％F.S.的高重復精度
滿量程可以在 5SCCM到 10SLM的范圍內任意定制
概要
C30型氣體質量流量控制器計采用毛細鋼管傳熱和溫差量熱原理測量氣體的質量流量，其中質量流量控制器可以對氣體的質量流量進行精確的控制。由于溫差量熱只和氣體的質量流量相關，所以氣體的溫度和壓力變化不會影響到測量值。
本型號產品的滿量程可以在 5SCCM到 10SLM的范圍內任意定制，性價比高，是同類產品中的一款。
特點
國內同類產品
穩定性和可靠性高
±0.2％F.S.的高重復精度
滿量程可以在 5SCCM到 10SLM的范圍內任意定制
可應用于大多數腐蝕性氣體
同類產品尺寸zui小
安裝尺寸兼容
應用
真空鍍膜設備
微反應裝置
晶體制備設備
混氣配氣設備
燃燒測試設備
氣相色譜儀及其它分析儀器
標定標準
標定氣體：氮氣(N2)
標定溫度和壓力： 溫度—273.15 K（0℃）
氣壓—101325 Pa（760mm Hg）
主要技術參數
基本型號 | C30 | C30M |
|---|---|---|
流量規格1(N2標定) | 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM | |
0～1,2,3,5,10 SLM | ||
調節閥類型 | 常閉式 | 無 |
量程比 | (5～100)％F.S. 或20:1 | |
流量分辨率 | 0.1％F.S. | |
準確度 | ±1.5％F.S. | |
線性 | ±1.5％F.S. | |
重復精度 | ±0.2％F.S. | |
響應時間 | ≤6sec | ≤2sec |
工作壓差范圍 | 0.1～0.5MPa (≤10SLM) | 0.02MPa～3MPa |
zui大耐壓 | 3MPa | |
工作環境溫度 | 5～45℃ | |
電纜接頭 | DB15pin(針形) | |
輸入輸出信號 | 0～+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ，輸出電流不大于3mA) | 0～+5.00V (無輸入信號，輸出電流不大于3mA) |
供電電源要求 | +15VDC(50mA),-15VDC(200mA) | +15VDC(50mA),-15VDC(50mA) |
對外單點泄漏率 | ≤1×10-8Pa·m3/S(He) | |
介質接觸材質 | 316，316L，密封填料 | |
密封材料 | 三元乙丙橡膠EPDM，氯丁橡膠CR，硅橡膠VMQ, | |
管道接頭尺寸 | VCR型接頭：1/4” | |
雙卡套型接頭：1/8”、1/4”、3/8”或φ3、φ6、φ8、φ10 mm | ||
外形尺寸 | 長×寬×高：127×30×100 mm | |
凈重量 | 0.88kg | 0.72kg |
