品牌：alicat
產品描述：
量程0-0.5sccm和0-5000slpm,100:1的量程比，內置130種氣體，10ms快速響應時間，優于1%的精度
美國ALICAT 20S系列抗腐蝕型質量流量計，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。所有Alicat質量流量計均具有NIST可溯源校準證書。Alicat的20S系列數字式質量流量計可精確、快速測量腐蝕性氣體(如：NH3、H2S、SiH4等)的質量流量、體積流量、壓力和溫度，適用于多種流量測控場合。
技術參數 ：
介質要求：潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可
介質種類：內置了130種氣體，請參考“產品資料下載”氣體兼容表
一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇
量程：從0-0.5SCCM 到 0-5000SLPM（詳情請咨詢）
量程比：100:1
zui大顯示流量：128%FS
顯示屏：同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數 FS-滿量程
高精度：±(0.4%Rd + 0.2%FS)，選配
僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設備
重復性：± 0.2% FS
零點漂移&滿量程漂移：0.02% F.S / ºC / Atm
預熱時間：<1s
響應時間：10ms
標定工況：25ºC & 100kPa 絕壓、20ºC & 100kPa 絕壓、0ºC & 100kPa 絕壓 (三種工況現場可切換)
工作溫度：-10 ～ +50 ºC
工作濕度：0-,無冷凝
標準zui大工作壓力：1MPa 表壓
標準極限耐壓：1.2MPa 表壓，進出口zui大瞬時壓差可為500kPa
中壓耐壓：2MPa
數字輸入/輸出信號：RS232、RS485、Modbus、Profibus*
模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc、1-5Vdc、 0-10Vdc、4-20mA
供電電壓：7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)
供電電流：40mA
電氣接口：8針Mini-DIN、DB9、DB15、6針工業接頭
材質：316L不銹鋼、303不銹鋼, 430FRSS, FFKM (Kalrez)
可根據特殊氣體選用Viton, EPDM, Buna, Neoprene
防護等級：IP40
* 如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及
供電電流需咨詢我們
