低溫冷卻液循環泵再生的意義
低溫泵在當今生產研究過程中應用廣泛,但其每工作一段時間后都需要進行“再生”,所需時間長,泵效率低。本文對一種低溫泵的吸附陣結構分析并設計了一種結合自動控制功能的快速再生加熱系統,該系統由單片機編程控制,自動化程度高,再生時間短,使用方便,為國內低溫泵快速再生環節的發展提供借鑒。
低溫冷卻液循環泵再生的意義
低溫泵是一種利用低溫表面來冷凝、吸附和捕集氣體的真空獲得設備,它具有潔凈無油、抽速高等優點,在半導體、集成電路和空間技術研究方面應用廣泛。由于低溫泵采用冷頭吸附,工作一段時間后,冷頭被氣體凝結的固體所覆蓋,表面溫度升高,對氣體吸附作用減弱甚至停止,失去抽氣作用,因此實際使用時,每過一段時間就需要對泵進行加熱,以去除凝結在冷頭上的固態氣體,即所謂的“再生”。
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