質(zhì)量流量控制器 V 系列 MFC 是用于精確控制氣體質(zhì)量流量的設(shè)備,MFC 既可應(yīng)用于半導(dǎo)體前段制程,如 ETCH、PVD、ALD、MOCVD、IMP 等設(shè)備中, 也在光伏能源、真空鍍膜等領(lǐng)域有可觀的市場(chǎng)。
MFC 可通過對(duì)氣體流量的精準(zhǔn)控制,有效地提供更高的良率。
流量控制器的原理和設(shè)計(jì)
2021-03-11標(biāo)簽:流量控制器
2ATM流量控制器的原理和設(shè)計(jì)
實(shí)際應(yīng)用中最常見的兩種業(yè)務(wù)模式是CBR和VBR,它們分別對(duì)應(yīng)著當(dāng)前通信傳輸?shù)恼Z(yǔ)音和數(shù)據(jù)業(yè)務(wù)。針對(duì)ATM的流量算法為GCRA(一般信元速率算法)。該算法可采用公式GCRA(I,L)來描述。其中I是時(shí)間增量,表示相對(duì)當(dāng)前時(shí)刻的下一個(gè)信元到達(dá)時(shí)間間隔的理論值(期望值)。L是信元時(shí)延偏差容限,表示相對(duì)期望值的下一信元可以提前到達(dá)的最大容忍范圍。對(duì)應(yīng)于雙漏桶算法,它可以表示為第一級(jí)漏桶處理PCR,相應(yīng)模型為GCRA1(1/PCR,CDVT)。
第二級(jí)漏桶處理SCR的相應(yīng)模型為GCRA2(1/SCR,BT+CDVT),根據(jù)ATM論壇規(guī)定,PCR是必須的,而SCR是可選的。如果其中的L的值較大,則將增大數(shù)據(jù)的突發(fā)程度。第一級(jí)漏桶的監(jiān)控是針對(duì)單個(gè)信元的,經(jīng)過第一級(jí)漏桶的平均速率可以得到控制,但是突發(fā)性還是沒有得到控制。第二級(jí)漏桶是以監(jiān)控若干個(gè)信元為目的,它對(duì)突發(fā)性有良好的監(jiān)控和抑制作用。對(duì)于CBR型的流量,只需要第一級(jí)漏桶,因?yàn)樗鼪]有數(shù)據(jù)突發(fā)的概念,而對(duì)于VBR業(yè)務(wù)類型,第二級(jí)漏桶也是需要的,因?yàn)樗袛?shù)據(jù)突發(fā)可能,所以要對(duì)它進(jìn)行監(jiān)控。其兩級(jí)漏桶算法的示意圖如圖1所示。
由此可見,ATM的流量控制技術(shù)是較為復(fù)雜的,而且也是其精髓之所在。在參考各種資料的基礎(chǔ)上,本文提出了一種流控的調(diào)度算法。這種調(diào)度算法是基于各個(gè)UTOPIA的PHY接口實(shí)現(xiàn)的。每個(gè)PHY的接口上可能存在多種流量類型(如CBR,VBR等)。該算法可根據(jù)每個(gè)PHY的流量類型來設(shè)置相應(yīng)的多個(gè)調(diào)度表,每個(gè)表代表一種流量類型(如CBR,VBR等)。
每個(gè)表由多個(gè)時(shí)隙槽組成,每個(gè)時(shí)隙槽中有多個(gè)要請(qǐng)求發(fā)送的ATM連接,每個(gè)時(shí)隙槽中的連接容量定義為cellperslot(CPS)。每個(gè)表由兩個(gè)指針組成,分別為實(shí)時(shí)指針RP和服務(wù)指針SP,其中RP在每經(jīng)過CPS個(gè)CELL發(fā)送時(shí)間后將移動(dòng)到下一個(gè)時(shí)隙槽,而SP則要等到某個(gè)時(shí)隙槽沒有等待發(fā)送的CELL時(shí)才能往下移動(dòng)。如果一個(gè)連接在本時(shí)隙槽發(fā)送完后接著被調(diào)度到下個(gè)時(shí)隙槽發(fā)送,那么,此時(shí)將達(dá)到連接的最大比特速率為:
鏈接的最大速率=PHY端口的線速/CPS
同理,某連接的最小速率就表示在每次表的輪詢過程中只被調(diào)度一次,其可以表示為:
最小比特速率=PHY端口的線速/((時(shí)隙數(shù)-1)×CPS)
假設(shè)PHY0的調(diào)度表的初始狀態(tài)如圖2左上角的圖形所示,其中CPS=2,有8個(gè)時(shí)隙(timeslot),PHY0共有兩個(gè)流量類型,那么,將有兩個(gè)優(yōu)先級(jí)的調(diào)度表,分別是CBR和UBR業(yè)務(wù)類型,顯然CBR業(yè)務(wù)類型的優(yōu)先級(jí)高于UBR。調(diào)度表中的空白表示該時(shí)隙沒有連接,連接1、2被安排在時(shí)隙B發(fā)送,連接3在時(shí)隙C,連接4、5、6在時(shí)隙D。CBR和UBR都是PCR通信類型,它們可根據(jù)參數(shù)PCR來進(jìn)行調(diào)度。
對(duì)于連接1、2,PCR=1/2MaxPCR;對(duì)于連接3,PCR=1/3MaxPCR;對(duì)于連接4、5、6,PCR=1/4MaxPCR。開始時(shí),服務(wù)指針和實(shí)時(shí)指針都指向時(shí)隙A。從圖2可以看到PHY0的整個(gè)調(diào)度過程。第一次調(diào)度時(shí),兩個(gè)調(diào)度表的當(dāng)前時(shí)隙(時(shí)隙A)均沒有CELL;第二次調(diào)度時(shí),調(diào)度表中仍沒有連接,實(shí)時(shí)指針指向下一個(gè)時(shí)隙(時(shí)隙B);第三次調(diào)度時(shí),CBR調(diào)度表的時(shí)隙B中有連接2和1,先調(diào)度2發(fā)送,然后為連接2重新安排調(diào)度,由于連接2的PCR=1/2MaxPCR,所以將2寫入時(shí)隙D;
第四次調(diào)度時(shí),連接1的處理類似;第五次調(diào)度時(shí),調(diào)度連接3,其下次調(diào)度安排在時(shí)隙F;第六次調(diào)度時(shí)。CBR和UBR調(diào)度表的當(dāng)前時(shí)隙(時(shí)隙C)中都沒有連接,實(shí)時(shí)指針指向時(shí)隙D;第七次調(diào)度時(shí),CBR和UBR調(diào)度表的時(shí)隙D中均有連接,由于CBR優(yōu)先級(jí)高.故從CBR調(diào)度表中讀取連接1;第八次調(diào)度時(shí),連接2被調(diào)度,實(shí)時(shí)指針指向時(shí)隙E,注意到此時(shí)由于UBR的連接未被調(diào)度,所以SP的指針就指在了那里:第九次調(diào)度時(shí),CBR調(diào)度表的時(shí)隙E中沒有連接,而UBR的時(shí)隙D有3個(gè)連接要求調(diào)度,這時(shí)從UBR調(diào)度表中調(diào)度連接4,調(diào)度完后根據(jù)流量參數(shù)將連接4寫入時(shí)隙H;第十次調(diào)度時(shí),調(diào)度連接5,然后將連接5寫入時(shí)隙H同時(shí)實(shí)時(shí)指針下移,但是,因?yàn)檫€有連接6沒有被調(diào)度,所以服務(wù)指針還在D處。其余的調(diào)度可以以此類推。
3功能仿真及驗(yàn)證
該ATM流量控制器可采用硬件描述語(yǔ)言VerilogHDL進(jìn)行描述。圖3所示是在ModelSim軟件環(huán)境中進(jìn)行功能仿真的相應(yīng)仿真結(jié)果。
在圖3所示的PHY0調(diào)度功能仿真結(jié)果中,CLK是工作時(shí)鐘,reset是復(fù)位信號(hào),S[[_]]Req是調(diào)度請(qǐng)求信號(hào)(S[[_]]Req有效時(shí)進(jìn)行調(diào)度),clr[[_]]S是調(diào)度請(qǐng)求清除信號(hào),PHY是選中的物理設(shè)備的地址(即要進(jìn)行調(diào)度的物理設(shè)備地址),chn是調(diào)度到的ATM的連接號(hào)。
APCLC流量控制器是當(dāng)前調(diào)度到的連接所連接的下一個(gè)連接號(hào),PCR是峰值信元速率對(duì)應(yīng)的時(shí)隙調(diào)度速率,CPS是每個(gè)時(shí)隙發(fā)送的信元數(shù),CPS[[_]]CNT是信元計(jì)數(shù),ATY是ATM通信類型指示(00表示PCR通信類型)。本設(shè)計(jì)中的CBR和UBR都是PCR通信類型,所以ATT均為00。從仿真結(jié)果可以看出,調(diào)度到的連接號(hào)依次為0、0、2、1、3、0、1、2、4、5、2、1、3、6、1、2…,可見,與上面調(diào)度算法的分析結(jié)果一致。
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