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JKZC-STC600 高 真 空 雙靶磁控濺射儀

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    2025年05月15日
關(guān)鍵詞
雙靶,高真空,直流,射頻,高溫
上傳者
北京精科智創(chuàng)科技發(fā)展有限公司
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資料簡(jiǎn)介

JKZC-STC600高真空雙靶磁控濺射儀.png

關(guān)鍵詞:雙靶,高真空,直流,射頻,高溫

JKZC-STC600雙靶磁控濺射儀是我公司自主新研制開(kāi)發(fā)的一款高真空鍍膜設(shè)備,可用于制備單層或多層鐵電薄 膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄 膜等。JKZC-STC600 雙靶磁控濺射儀配備有兩個(gè)靶槍和兩個(gè)電源,一個(gè)射頻電源用于非導(dǎo)電材料的濺射鍍膜,一個(gè)直流電源用于導(dǎo)電材料的濺射鍍膜,可選配強(qiáng)磁靶用于鐵磁性材料的濺射鍍膜。與同類(lèi)設(shè)備相比,且具有體積小便 于操作的優(yōu)點(diǎn),且可使用的材料范圍廣,是一款實(shí)驗(yàn)室制備各類(lèi)材料薄膜的理想設(shè)備  

主要特點(diǎn):

·配置兩個(gè)靶槍?zhuān)粋€(gè)配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜,一個(gè)配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜。 ·可制備多種薄膜,應(yīng)用廣泛。

·體積小,操作簡(jiǎn)便。

技術(shù)數(shù)參:

 

產(chǎn)品名稱(chēng)

JKZC-STC600 雙靶磁控濺射儀

產(chǎn)品型號(hào)

JKZC-STC600

 

安裝條件


本設(shè)備要求在溫度 25℃±15℃ , 濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)(加注純凈水或者去離子水)

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度 99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶?6mm  卡套接頭)及減壓閥

4、工作臺(tái):尺寸 1500mm×600mm×700mm,承重 200kg 以上

5、通風(fēng)裝置:需要

1、電源電壓:220V  50Hz

2、功率:900W

3、腔體內(nèi)徑:?300mm

4、極限真空度:9.0×10-4Pa

5、樣品臺(tái)加熱溫度:RT-500℃ , 精度±1℃(可根據(jù)實(shí)際需要提升溫度)

6、靶槍數(shù)量:2 個(gè)(可選配其他數(shù)量)

7、靶槍冷卻方式:水冷

8、靶材尺寸:?2  ,厚度 0.1-5mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同)

9、直流濺射功率:500W;射頻濺射功率:300W。(靶電源種類(lèi)可選,可選擇兩個(gè)直 流電源,也可選擇兩個(gè)射頻電源,或選則一個(gè)直流一個(gè)射頻電源)

10、載樣臺(tái):?140mm,可根據(jù)客戶需求選配加裝偏壓功能,以實(shí)現(xiàn)更高質(zhì)量的鍍膜。

11、載樣臺(tái)轉(zhuǎn)速:1rpm-20rpm 內(nèi)可調(diào)

12、工作氣體:Ar 等惰性氣體

13、進(jìn)氣氣路:質(zhì)量流量計(jì)控制 2 路進(jìn)氣,一路為 100SCCM,另一路為 200SCCM

14、產(chǎn)品規(guī)格、尺寸:

主機(jī)尺寸:500mm×560mm×660mm

整機(jī)尺寸:1300mm×660mm×1200mm 真空室規(guī)格: φ300×300mm

·重量:160kg

JKZC-STC600高真空雙靶磁控濺射儀-1.png 

標(biāo)準(zhǔn)配件

 

序號(hào)

名稱(chēng)

數(shù)量

圖片鏈接

1

直流電源控制系統(tǒng)

1 

-

2

射頻電源控制系統(tǒng)

1 

-

3

膜厚監(jiān)測(cè)儀系統(tǒng)

1 

-

4

分子泵(德國(guó)進(jìn)口或者國(guó)產(chǎn)更大抽速)

1 臺(tái)

-

5

冷水機(jī)

1 臺(tái)

-

6

聚酯 PU  (?6mm

4m

-

 

可選配件:

 

序號(hào)

名稱(chēng)

功能類(lèi)別

圖片鏈接

1

金、銦、銀、 白金等各種靶材

(可選)

-

2

可選配強(qiáng)磁靶用于鐵磁性材料的濺射鍍膜。

(可選)


3

雙層旋轉(zhuǎn)鍍膜夾具

(可選)

JKZC-STC600高真空雙靶磁控濺射儀-2.png 

 

 

濺射條件:工作氣壓 10pa 左右,濺射電壓 3000V,靶電流密度 0.5mA/cm2,薄膜沉積速率低于 0.1μm/min

工作原理:先讓惰性氣體(通常為 Ar 氣)產(chǎn)生輝光放電現(xiàn)象產(chǎn)生帶電的離子;帶電離子緊電場(chǎng)加速撞擊靶材表面, 使靶材原子被轟擊而飛出來(lái),同時(shí)產(chǎn)生二次電子,再次撞擊氣體原子從而形成更多的帶電離子;靶材原子攜帶著足 夠的動(dòng)能到達(dá)被鍍物(襯底)的表面進(jìn)行沉積。隨著氣壓的變化,濺射法薄膜沉積速率將出現(xiàn)一個(gè)極大值,但氣壓 很低的條件下,電子的自由程較長(zhǎng),電子在陰極上消失的幾率較大,通過(guò)碰撞過(guò)程引起氣體分子電離的幾率較低, 離子在陽(yáng)極上濺射的同時(shí)發(fā)射出二次電子的幾率又由于氣壓較低而相對(duì)較小,這些均導(dǎo)致低氣壓條件下濺射的速率 很低。在壓力 1Pa 時(shí)甚至不易維持自持放電!隨著氣壓的升高,電子的平均自由程減小,原子的電離幾率增加,濺 射電流增加,濺射速率增加。

適宜濺射靶材種類(lèi)為不易氧化的輕金屬,如 Au,Ag,Pt

射頻濺射是利用射頻放電等離子體中的正離子轟擊靶材、濺射出靶材原子從而沉積在接地的基板表面的技術(shù)。

工作條件:射頻濺射可以在 1Pa 左右的低壓下進(jìn)行,濺射電壓 1000V,靶電流密度 1.0  mA/cm2,薄膜沉積速率

0.5μm/min

工作原理:人們將直流電源換成交流電源。由于交流電源的正負(fù)性發(fā)生周期交替,當(dāng)濺射靶處于正半周時(shí),電子流 向靶面,中和其表面積累的正電荷,并且積累電子,使其表面呈現(xiàn)負(fù)偏壓,導(dǎo)致在射頻電壓的負(fù)半周期時(shí)吸引正離 子轟擊靶材,從而實(shí)現(xiàn)濺射。由于離子比電子質(zhì)量大,遷移率小,不像電子那樣很快地向靶表面集中,所以靶表面 的點(diǎn)位上升緩慢,由于在靶上會(huì)形成負(fù)偏壓,所以射頻濺射裝置也可以濺射導(dǎo)體靶。在射頻濺射裝置中,等離子體 中的電子容易在射頻場(chǎng)中吸收能量并在電場(chǎng)內(nèi)振蕩,因此,電子與工作氣體分子碰撞并使之電離產(chǎn)生離子的概率變大,故使得擊穿電壓、放電電壓及工作氣壓顯著降低。 

優(yōu)點(diǎn):

1、可在低氣壓下進(jìn)行,濺射速率高。

2、不僅可濺射金屬靶,也可濺射絕緣靶,可以把導(dǎo)體,半導(dǎo)體,絕緣體中的任意材料薄膜化。

3、必須十分注意接地問(wèn)題。

適宜濺射的靶材種類(lèi)為各種類(lèi)型的固體靶材,金屬,半導(dǎo)體,絕緣體靶材均可濺射,尤為適用于易產(chǎn)生氧化絕緣層的 靶材.如 Al,Ti,Mg 等金屬以及 TiQ2,ZnO 等氧化物靶材.

 

 

 

 


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