兩探針電阻率測試儀是按照SEMI MF397-1106(用兩探針測量電阻率的測量方法)“兩探針法”的要求。適用于測量橫截面尺寸是可測量的,棒的長度與橫截面MAX尺寸之比不小于3:1。橫斷面為圓形、正方形、長方形或梯形的單晶或多晶錠。由于兩探針法的測量電流是從長棒兩端進出,遠離電壓測量探針,因此電流流過金屬與半導體接觸處產生的許多副效應(如珀爾帖效應、塞貝克效應、少子注入效應等)。
儀器是由電氣測量、測試臺及兩探針頭組成。儀器具有精度為0.05%的恒流源以及雙數字表,在測量電阻率的同時,另一塊數字表監測電流變化,儀器還配有恒流開關,儀器測量軟件配合探頭在硅棒上移動測量,自動計算多點的電阻率、正反向電阻率平均值、電阻率的MAX值、電阻率MIN值,MAX百分變化,測量數據存儲在數據庫中,可查詢測量數據或按條件查詢;提供打印及導出格式供選擇。
規格參數:
測量范圍
硅晶體電阻率:0.005-10000Ω·cm
硅棒尺寸:長300mm、直徑20mm(可按要求更改)
恒流源
輸出電流:DC0.001-100mA,五檔可調
量程范圍:0.001-0.01mA(1-10μA)、0.01-0.1mA(10-100μA)、0.1-1.0mA、1.0-10mA、10-100mA
恒流精度:±0.05%
直流數字電壓表
測量范圍:0-199.99mV
靈敏度:10μV
兩探針頭
探針間距:1.59±0.01mm
探針直徑:Φ0.8mm
游移率:<0.2%
探針材料:硬質合金
探針壓力:3±1N/單針
供電電源:AC 220V±10%,50/60Hz
功率范圍:12W
環境溫度:23±2℃
兩探針電阻率測試儀ρ:0.005~50000Ω•cm