(一)準確度
準確度是用一個特定的分析程序所獲得的分析結果(單次測定值和重復測定值的均值)與假定的或的真值之間符合程度的度量。它是反映分析方法或測量系統存在的系統誤差和隨機誤差兩者的綜合指標，并決定其分析結果的可靠性。準確度用誤差和相對誤差表示。
評價準確度的方法有兩種:種是用某一方法分析標準物質，據其結果確定準確度;第二種是“加標回收”法，即在樣品中加入標準物質，測定其回收率，以確定準確度，多次回收試驗還可發現方法的系統誤差，這是目前常用而方便的方法，其計算式是:
回收率=(加標試樣測定值-試樣測定值)/加標量× 99%
所以，通常加入標準物質的量應與待測物質的濃度水平接近為宜。因為加入標準物質量的大小對回收率有影響。

(二)精密度
精密度是指用一特定的分析程序在受控條件下重復分析均一樣品所得測定值的一致程度，它反映分析方法或測量系統所存在隨機誤差的大小。極差、平均偏差、相對平均偏差、標準偏差和相對標準偏差都可用來表示精密度大小，較常用的是標準偏差。
在討論精密度時，常要遇到如下一些術語:
1.平行性
平行性系指在同一實驗室中，當分析人員、分析設備和分析時間都相同時，用同一分析方法對同一樣品進行雙份或多份平行樣測定結果之間的符合程度。
2.重復性
重復性系指在同一實驗室內，當分析人員、分析設備和分析時間三因素中至少有一項不相同時，用同一分析方法對同一樣品進行的兩次或兩次以上獨立測定結果之間的符合理度。
3.再現性
再現性系指在不同實驗室(分析人員、分析設備、甚至分析時間都不相同)，用同一分析方法對同一樣品進行多次測定結果之間的符合程度。
通常室內精密度是指平行性和重復性的總和;而室間精密度(即再現性)，通常用分析標準溶液的方法來確定。

(三)靈敏度
分析方法的靈敏度是指該方法對單位濃度或單位量的待測物質的變化所引起的響應量變化的程度，它.IJ以用儀器的響應量或其他指示量與對應的待測物質的濃度或量之比來描述，因此常用標準曲線的斜率來度量靈敏度。靈敏度因實驗條件而變。標準曲線的直線部分以下式表示:
A=kc+a
式中:A:儀器的響應量;
c:待測物質的濃度;
a:校準曲線的截距;
k:方法的靈敏度,k值大，說明方法靈敏度高。
在原子吸收分光光度法中，國際理論與應用化學聯合會(IUPAC)建議將以濃度表示的“1%吸收靈敏度”叫做特征濃度，而將以量表示的“1%吸收靈敏度“稱為特征量。特征濃度或特征量越小，方法的靈敏度越高。

(四)空白試驗
空白試驗又叫空白測定。是指用蒸餾水代替試樣的測定。其所加試劑和操作步驟與試驗測定相同。空白試驗應與試樣測定同時進行，試樣分析時儀器的響應值(如吸光度、峰高等)不僅是試樣中待測物質的分析響應值，還包括所有其他因素，如試劑中雜質、環境及操作進程的沾污等的響應值，這些因素是經常變化的，為了了解它們對試樣測定的綜合影響，在每次測定時均作作空白試驗，空白試驗所得的響應值稱為空白試驗值。對試驗用水有一定的要求，即其中待測物質濃度應低于方法的檢出限。當空白試驗值偏高時，應全面檢查空白試驗用水、試劑的空白、量器和容器是否沾污、儀器的性能以及環境狀況等。

(五)校準曲線
校準曲線是用于描述待測物質的濃度或量與相應的測量儀器的響應量或其他指示量之間的定量關系的曲線。校準曲線包括“工作曲線”(繪制校準曲線的標準溶液的分析步驟與樣品分析步驟相同)和標準曲線(繪制校準曲線的標準溶液的分析步驟與樣品分析步驟相比有所省略。如省略樣品的前處理)。
監測中常用校準曲線的直線部分。某一方法的標準曲線的直線部分所對應的待測物質濃度(或量)的變化范圍，稱為該方法的線性范圍。

(六)檢測限
某一分析方法在給定的可靠程度內可以從樣品中檢測待測物質的最小濃度或最小量。所謂檢測是指定性檢測，即斷定樣品中確定存在有濃度高于空白的待測物質。
檢測限有幾種規定，簡述如下:
(1)分光光度法中規定以扣除空白值后，吸光度為0.01相對應的濃度值為檢測限。
(2)氣相色譜法中規定檢測器產生的響應信號為噪聲值兩信時的量。最小檢測濃度是指最小檢測量與進樣量(體積)之比。
(3)離子選擇性電極法規定某一方法的標準曲線的直線部分外延的延長線與通過空白電位且平行于濃度軸的直線相交時，其交點所對應的濃度值即為檢測限。

(七)測定限
測定限分測定下限和測定上限。測定下限是指在測定誤差能滿足預定要求的前提下，用特定方法能夠準確地定量測定待測物質的最小濃度或量;測定上限是指在限定誤差能滿足預定要求的前提下，用特定方法能夠準確地定量測定待測物質的濃度或量。
測定范圍又叫有效測定范圍，系指在限定誤差能滿足預定要求的前提下，特定方法的測定下限到測定上限之間的濃度范圍。
方法運用范圍是指某一特定方法檢測下限至檢測上限之間的濃度范圍。顯然，測定范圍應小于方法適用范圍。